[发明专利]场致发射扫描俄歇电子显微镜无效
| 申请号： | 86100036.6 | 申请日： | 1986-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN1009145B | 公开（公告）日： | 1990-08-08 |
| 发明（设计）人： | 约翰尼斯·乔治·贝德诺尔茨;詹姆斯·卡齐密尔茨·吉姆齐夫斯基;布鲁诺·赖尔 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | H01J37/285 | 分类号： | H01J37/285;H01J37/28 |
| 代理公司： | 上海专利事务所 | 代理人： | 颜承根 |
| 地址： | 美国纽约10*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 俄歇电子显微镜装有场致发射尖头(10)，维持在样品(7)的表面上相距一基本恒定的距离处。尖头(10)可由尖端半径为～50nm的钨(100)触须所组成，其工作距离的数量级为1mm。从样品(7)表面发射的俄歇电子由电子能量分析器(11)收集以便进行常规处理。在尖头(10)及样品(7)之间的相互扫描移位由XYZ驱动模件(6)完成，它还负责调整尖头(10)的工作距寓。整个显微镜装置装在振荡阻尼系统(4，5)上，且如有需要，可用合适的法兰盘投进真空系统。 | ||
| 搜索关键词： | 发射 扫描 电子显微镜 | ||
【主权项】：
1.一种场致发射扫描俄歇电子显微镜，包括场致发射源，样品支架，使场致发射源及样品相互移位的扫描装置，带有关电子数据处理电路的电于探测器，及显示和/或记录结果用的装置，其特征在于场场发射源包括一有尖锐尖端且该尖端半径约为50nm或小于50nm的尖头，上述尖头保持在距上述样品表面为≤1mm的基本上恒定的距离上及在上述尖头与上述样品之间保持电位差。
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