[发明专利]场致发射扫描俄歇电子显微镜无效
| 申请号： | 86100036.6 | 申请日： | 1986-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN1009145B | 公开（公告）日： | 1990-08-08 |
| 发明（设计）人： | 约翰尼斯·乔治·贝德诺尔茨;詹姆斯·卡齐密尔茨·吉姆齐夫斯基;布鲁诺·赖尔 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | H01J37/285 | 分类号： | H01J37/285;H01J37/28 |
| 代理公司： | 上海专利事务所 | 代理人： | 颜承根 |
| 地址： | 美国纽约10*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 发射 扫描 电子显微镜 | ||
【权利要求书】：
1、一种场致发射扫描俄歇电子显微镜，包括场致发射源，样品支架，使场致发射源及样品相互移位的扫描装置，带有关电子数据处理电路的电子探测器，及显示和/或记录结果用的装置，其特征在于场场发射源包括一有尖锐尖端且该尖端半径约为50nm或小于50nm的尖头，上述尖头保持在距上述样品表面为≤1mm的基本上恒定的距离上及在上述尖头与上述样品之间保持电位差。
2、根据权利要求1的显微镜，其特征在于上述尖头由有（100）指向的钨触须所制成。
3、根据权利要求1的显微镜，其特征在于上述尖头包括一加热装置以便在工作时使电子发射增强。
4、根据权利要求1的显微镜，其特征在于上述电子探测器包含电子能量分析器，上述扫描装置包含同时起上述样品支架作用的XYZ驱动模件，及上述电子能量分析器、上述XYZ驱动模件和上述场致发射源都装在一个框架上。
5、根据权利要求1的显微镜，其特征在于上述尖头相对于上述样品加以负偏压，及样品和电子能量分析器的进入透镜都连在地电位上。
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