[实用新型]石墨舟组件和气相沉积设备

摘要

本实用新型涉及光伏太阳能电池生产设备技术领域且公开了一种石墨舟组件和气相沉积设备，所述石墨舟组件包括石墨舟、封盖、电极杆和保护壳，所述石墨舟上具有电极，所述封盖设于所述石墨舟上且环绕所述电极一周设置，所述电极杆用于设在管式炉内以支撑所述石墨舟，所述电极杆上具有用于与所述电极电连接的导电部，所述保护壳设于所述电极杆上，所述保护壳具有保护腔以及与所述保护腔连通的开口，所述导电部位于所述保护腔内，所述封盖用于封堵所述开口。因此，本实用新型实施例的石墨舟组件具有镀膜均匀性好等优点。