[实用新型]一种碳化硅陶瓷烧结炉有效

专利信息
申请号: 202320874189.1 申请日: 2023-04-19
公开(公告)号: CN219433788U 公开(公告)日: 2023-07-28
发明(设计)人: 李玉银;薛振坤;兰川渝;杜先 申请(专利权)人: 成都伏尔肯半导体材料有限公司
主分类号: F27B17/00 分类号: F27B17/00;F27D7/02;F27D17/00;F27D11/02
代理公司: 成都华烨专利代理事务所(普通合伙) 51336 代理人: 严刘英
地址: 610000 四川省*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型公开一种碳化硅陶瓷烧结炉,包括底座,所述底座的顶部固定安装有烧结炉本体,所述底座顶部的左侧固定安装有氮气存气室,本实用新型通过打开电磁阀与气泵,并启动电机,电机启动带动密封筒与密封杆同时向右移动,密封筒移动使第二方形管前部与后部的漏出,密封筒移动距离越长则排气口漏出的面积越大,此时烧结炉本体内部的气体可通过排出,密封杆向右移动使第一方形管与输气管连通,并且可根据移动距离的不同达到所连通输气管数量不同的效果,从而达到根据流量输送氮气的效果,并且通过设置多个输气管可达到向烧结炉本体的内部均匀充入氮气的效果,增加了充气效率。
搜索关键词: 一种 碳化硅 陶瓷 烧结炉
【主权项】:
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