[实用新型]一种碳化硅陶瓷烧结炉有效

专利信息
申请号: 202320874189.1 申请日: 2023-04-19
公开(公告)号: CN219433788U 公开(公告)日: 2023-07-28
发明(设计)人: 李玉银;薛振坤;兰川渝;杜先 申请(专利权)人: 成都伏尔肯半导体材料有限公司
主分类号: F27B17/00 分类号: F27B17/00;F27D7/02;F27D17/00;F27D11/02
代理公司: 成都华烨专利代理事务所(普通合伙) 51336 代理人: 严刘英
地址: 610000 四川省*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 碳化硅 陶瓷 烧结炉
【权利要求书】:

1.一种碳化硅陶瓷烧结炉,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的顶部固定安装有烧结炉本体(2),所述底座(1)顶部的左侧固定安装有氮气存气室(3),所述烧结炉本体(2)的后部连通有进气机构,所述烧结炉本体(2)的表面连通有排气机构;

所述进气机构包括连通于氮气存气室(3)右侧的第一方形管(4),所述第一方形管(4)表面的左侧固定安装有气泵(14),所述第一方形管(4)的表面连通有输气管(5),且输气管(5)设置有若干个,所述输气管(5)的前端贯穿烧结炉本体(2)并延伸至烧结炉本体(2)的内部,所述第一方形管(4)的内部滑动安装有密封杆(15);

所述排气机构包括连通于烧结炉本体(2)表面的排气管(6),所述排气管(6)的表面固定安装有电磁阀(13),所述排气管(6)的前端连通有第二方形管(7),所述第二方形管(7)的前部与后部均开设有排气口(11),所述第二方形管(7)的表面滑动安装有密封筒(8),所述密封筒(8)与密封杆(15)的顶部固定安装有U型杆(12)。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷烧结炉,其特征在于:所述底座(1)的顶部固定安装有电机(9),所述电机(9)的输出轴通过联轴器固定安装有螺纹杆(10),所述螺纹杆(10)的表面螺纹连接有螺纹套(16),所述底座(1)的顶部固定安装有触发按钮(18),所述螺纹套(16)的顶部通过连接杆固定连接于密封筒(8)的底部。

3.根据权利要求2所述的一种碳化硅陶瓷烧结炉,其特征在于:所述烧结炉本体(2)内腔的顶部与底部均固定安装有与触发按钮(18)相配合使用的加热板(19)。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷烧结炉,其特征在于:所述烧结炉本体(2)的内壁固定安装有放置板(20)。

5.根据权利要求2所述的一种碳化硅陶瓷烧结炉,其特征在于:所述螺纹套(16)的底部固定安装有凸块(17)。

6.根据权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷烧结炉,其特征在于:所述烧结炉本体(2)的右侧通过开设开口铰接有盖板。

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