[实用新型]一种碳化硅陶瓷烧结炉有效
| 申请号: | 202320874189.1 | 申请日: | 2023-04-19 | 
| 公开(公告)号: | CN219433788U | 公开(公告)日: | 2023-07-28 | 
| 发明(设计)人: | 李玉银;薛振坤;兰川渝;杜先 | 申请(专利权)人: | 成都伏尔肯半导体材料有限公司 | 
| 主分类号: | F27B17/00 | 分类号: | F27B17/00;F27D7/02;F27D17/00;F27D11/02 | 
| 代理公司: | 成都华烨专利代理事务所(普通合伙) 51336 | 代理人: | 严刘英 | 
| 地址: | 610000 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 碳化硅 陶瓷 烧结炉 | ||
1.一种碳化硅陶瓷烧结炉,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的顶部固定安装有烧结炉本体(2),所述底座(1)顶部的左侧固定安装有氮气存气室(3),所述烧结炉本体(2)的后部连通有进气机构,所述烧结炉本体(2)的表面连通有排气机构;
所述进气机构包括连通于氮气存气室(3)右侧的第一方形管(4),所述第一方形管(4)表面的左侧固定安装有气泵(14),所述第一方形管(4)的表面连通有输气管(5),且输气管(5)设置有若干个,所述输气管(5)的前端贯穿烧结炉本体(2)并延伸至烧结炉本体(2)的内部,所述第一方形管(4)的内部滑动安装有密封杆(15);
所述排气机构包括连通于烧结炉本体(2)表面的排气管(6),所述排气管(6)的表面固定安装有电磁阀(13),所述排气管(6)的前端连通有第二方形管(7),所述第二方形管(7)的前部与后部均开设有排气口(11),所述第二方形管(7)的表面滑动安装有密封筒(8),所述密封筒(8)与密封杆(15)的顶部固定安装有U型杆(12)。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷烧结炉,其特征在于:所述底座(1)的顶部固定安装有电机(9),所述电机(9)的输出轴通过联轴器固定安装有螺纹杆(10),所述螺纹杆(10)的表面螺纹连接有螺纹套(16),所述底座(1)的顶部固定安装有触发按钮(18),所述螺纹套(16)的顶部通过连接杆固定连接于密封筒(8)的底部。
3.根据权利要求2所述的一种碳化硅陶瓷烧结炉,其特征在于:所述烧结炉本体(2)内腔的顶部与底部均固定安装有与触发按钮(18)相配合使用的加热板(19)。
4.根据权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷烧结炉,其特征在于:所述烧结炉本体(2)的内壁固定安装有放置板(20)。
5.根据权利要求2所述的一种碳化硅陶瓷烧结炉,其特征在于:所述螺纹套(16)的底部固定安装有凸块(17)。
6.根据权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷烧结炉,其特征在于:所述烧结炉本体(2)的右侧通过开设开口铰接有盖板。
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