[实用新型]一种用于半导体设备的真空泵逆止阀组件

摘要

本实用新型提出一种用于半导体设备的真空泵逆止阀组件，其包括支承装配构件、进气转接构件、逆向密封构件、遮罩限位构件及出气转接构件，该逆止阀组件在气流通道中设置由刚性内壳及弹性外壳组成的逆向密封构件，弹性外壳附着于刚性内壳外壁，可随刚性内壳一同移动，其外壁与密封环面形状适配，刚性内壳靠近进气端管时，弹性外壳与密封环面贴合，使支承筒壳与进气端管之间的气流断开，刚性内壳远离进气端管时，弹性外壳与密封环面脱离，使支承筒壳与进气端管之间的气流连通，弹性外壳与密封环面的接触部位为圆形，并且接触位置不固定，不易发生形变，从而提升密封性能，延长使用寿命。