[实用新型]清洗SiC粉的设备有效
| 申请号： | 202320247911.9 | 申请日： | 2023-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN219292245U | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 周亮亮;张洁 | 申请（专利权）人： | 湖南三安半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/10;B08B3/08;B08B13/00;C01B32/956 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 刘锋 |
| 地址： | 410000 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种清洗SiC粉的设备。清洗SiC粉的设备包括清洗槽、加热器、导流管路和收集槽；加热器与清洗槽连接；清洗槽用于容纳酸性清洗液和碳化硅粉；导流管路的进口设置在清洗槽上方，导流管路的出口设置在收集槽上方，收集槽用于容纳碱性收集液。酸性清洗液酸性清洗液如此能够将碳化硅粉上附着的碳颗粒清洗掉，提升了晶体生长的质量，减少了包裹物等缺陷的产生。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 sic 设备 | ||
【主权项】：
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