[实用新型]清洗SiC粉的设备有效
| 申请号： | 202320247911.9 | 申请日： | 2023-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN219292245U | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 周亮亮;张洁 | 申请（专利权）人： | 湖南三安半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/10;B08B3/08;B08B13/00;C01B32/956 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 刘锋 |
| 地址： | 410000 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 清洗 sic 设备 | ||
1.一种清洗SiC粉的设备，其特征在于，包括：
清洗槽(100)、加热器(200)、导流管路(400)和收集槽(500)；
所述加热器(200)与所述清洗槽(100)连接；
所述清洗槽(100)用于容纳酸性清洗液(21)和碳化硅粉(22)酸性清洗液；
所述导流管路(400)的进口设置在所述清洗槽(100)上方，所述导流管路(400)的出口设置在所述收集槽(500)上方，所述收集槽(500)用于容纳碱性收集液。
2.根据权利要求1所述的清洗SiC粉的设备，其特征在于：
所述清洗槽(100)为高纯石英材质制成。
3.根据权利要求1所述的清洗SiC粉的设备，其特征在于：
还包括超声机(300)，所述超声机(300)与所述清洗槽(100)配合。
4.根据权利要求3所述的清洗SiC粉的设备，其特征在于：
所述超声机(300)至少包括两个，多个所述超声机(300)对称地设置在所述清洗槽(100)的周侧。
5.根据权利要求1所述的清洗SiC粉的设备，其特征在于：
所述导流管路(400)包括顺次连接的进气管(410)、中间管(420)和出气管(430)；
所述进气管(410)和所述出气管(430)均沿竖直方向布置，所述中间管(420)沿水平方向延伸。
6.根据权利要求5所述的清洗SiC粉的设备，其特征在于：
沿所述进气管(410)至所述出气管(430)方向，所述中间管(420)的下沿管壁具有逐渐降低的趋势。
7.根据权利要求6所述的清洗SiC粉的设备，其特征在于：
还包括喷淋装置(600)，所述喷淋装置(600)设置在所述中间管(420)上。
8.根据权利要求5所述的清洗SiC粉的设备，其特征在于：
还包括两个竖直方向布置的引流罩(700)；沿所述引流罩(700)顶部到所述引流罩(700)底部的方向，所述引流罩(700)的开口具有增大趋势；
所述引流罩(700)分别设置在所述进气管(410)的进口，以及设置在所述出气管(430)的出口。
9.根据权利要求8所述的清洗SiC粉的设备，其特征在于：
在所述清洗槽(100)处，所述引流罩(700)的底部盖设在所述清洗槽(100)的槽口外侧。
10.根据权利要求8所述的清洗SiC粉的设备，其特征在于：
在所述收集槽(500)处，所述引流罩(700)的底部套设在所述清洗槽(100)的槽口内壁上。
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