[实用新型]一种高真空用内装式挡板阀有效
| 申请号： | 202320160284.5 | 申请日： | 2023-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN219281938U | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 杨容军;朱刚劲 | 申请（专利权）人： | 广东腾胜科技创新有限公司 |
| 主分类号： | F04B53/10 | 分类号： | F04B53/10 |
| 代理公司： | 广州领诚知识产权代理事务所(普通合伙) 44856 | 代理人： | 雷芬芬 |
| 地址： | 526040 广东省肇庆市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种高真空用内装式挡板阀，包括安装在真空室壁外的精抽泵，安装在精抽泵周围的若干个伸缩缸，伸缩缸输出端通过真空室壁进入真空室内部，若干个伸缩缸输出端安装有内装式挡板，伸缩缸输出端外围套设有动态密封组件；内装式挡板设置有挡板密封圈；通过在真空室内设置有内装式挡板，在精抽泵周围设置若干个伸缩缸，若干个伸缩缸输出端与内装式挡板相固定，当分子泵与真空室之间需要有阀门隔断时，若干个伸缩缸回缩，内装式挡板上的挡板密封圈卡入与精抽泵相连通的阶梯孔中，实现密封；当精抽泵与真空室之间不需要阀门隔断时，若干个伸缩缸伸长，内装式挡板上的挡板密封圈与精抽泵相连通的阶梯孔相远离，实现精抽泵连通真空室。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 用内装式 挡板 | ||
【主权项】：
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