[实用新型]一种高真空用内装式挡板阀有效
| 申请号： | 202320160284.5 | 申请日： | 2023-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN219281938U | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 杨容军;朱刚劲 | 申请（专利权）人： | 广东腾胜科技创新有限公司 |
| 主分类号： | F04B53/10 | 分类号： | F04B53/10 |
| 代理公司： | 广州领诚知识产权代理事务所(普通合伙) 44856 | 代理人： | 雷芬芬 |
| 地址： | 526040 广东省肇庆市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 用内装式 挡板 | ||
【权利要求书】：
1.一种高真空用内装式挡板阀，包括安装在真空室壁外的精抽泵，安装在所述精抽泵周围的若干个伸缩缸，其特征在于：所述伸缩缸输出端通过真空室壁进入真空室内部，若干个所述伸缩缸输出端安装有内装式挡板，所述伸缩缸输出端外围套设有动态密封组件；所述内装式挡板设置有挡板密封圈。
2.如权利要求1所述一种高真空用内装式挡板阀，其特征在于：所述动态密封组件包括安装在真空室壁和内装式挡板上的若干组动态密封圈，设置在若干组所述动态密封圈的、且包裹在伸缩缸输出端外围的波纹管。
3.如权利要求2所述一种高真空用内装式挡板阀，其特征在于：所述真空室壁和内装式挡板均设置有用于安装动态密封圈的凹槽。
4.如权利要求1所述一种高真空用内装式挡板阀，其特征在于：所述真空室壁开设有连接精抽泵的阶梯孔，所述挡板密封圈卡入阶梯孔中进行密封。
5.如权利要求1所述一种高真空用内装式挡板阀，其特征在于：所述精抽泵与真空室壁之间设置有精抽泵密封圈，所述伸缩缸与真空室壁之间还设置有伸缩缸密封圈。
6.如权利要求1-5任一项所述一种高真空用内装式挡板阀，其特征在于：若干个所述伸缩缸通过外接PLC控制同步伸缩。
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