[实用新型]一种高真空用内装式挡板阀

说明书

本实用新型公开一种高真空用内装式挡板阀，包括安装在真空室壁外的精抽泵，安装在精抽泵周围的若干个伸缩缸，伸缩缸输出端通过真空室壁进入真空室内部，若干个伸缩缸输出端安装有内装式挡板，伸缩缸输出端外围套设有动态密封组件；内装式挡板设置有挡板密封圈；通过在真空室内设置有内装式挡板，在精抽泵周围设置若干个伸缩缸，若干个伸缩缸输出端与内装式挡板相固定，当分子泵与真空室之间需要有阀门隔断时，若干个伸缩缸回缩，内装式挡板上的挡板密封圈卡入与精抽泵相连通的阶梯孔中，实现密封；当精抽泵与真空室之间不需要阀门隔断时，若干个伸缩缸伸长，内装式挡板上的挡板密封圈与精抽泵相连通的阶梯孔相远离，实现精抽泵连通真空室。

技术领域

本实用新型涉及真空隔断技术领域，具体涉及一种高真空用内装式挡板阀。

背景技术

真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等多种镀膜工艺均需要在真空的环境下进行，为了提高工作效率，就需要精抽泵减少频繁启停所需的时间。

现有的精抽泵启动运作和停泵均需要在一定的真空度环境里，且启动加速时间较长约10-30分钟，停泵也需要约10分钟才能完全停止，为了减少频繁启停所需的时间，精抽泵与真空室之间需要有阀门隔断，而在破真空时，关闭阀门不需停止精抽泵，因此，以往一般用插板阀或者气动挡板阀实现阀门隔断，然而安装插板阀或者气动挡板阀所形成的气动控制系统会占用较大的安装空间，且整体设备需要花费的成本高。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型目的是提供一种节省安装空间的精抽泵用内装式挡板阀。

为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种高真空用内装式挡板阀，包括安装在真空室壁外的精抽泵，安装在所述精抽泵周围的若干个伸缩缸，所述伸缩缸输出端通过真空室壁进入真空室内部，若干个所述伸缩缸输出端安装有内装式挡板，所述伸缩缸输出端外围套设有动态密封组件；所述内装式挡板设置有挡板密封圈。

作为优选，所述动态密封组件包括安装在真空室壁和内装式挡板上的若干个动态密封圈，设置在若干个所述动态密封圈的、且包裹在伸缩缸输出端外围的波纹管。

作为优选，所述真空室壁和内装式挡板均设置有用于安装动态密封圈的凹槽。

作为优选，所述真空室壁开设有连接精抽泵的阶梯孔，所述挡板密封圈卡入阶梯孔中进行密封。

作为优选，所述精抽泵与真空室壁之间设置有精抽泵密封圈，所述伸缩缸与真空室壁之间还设置有伸缩缸密封圈。

作为优选，若干个所述伸缩缸通过外接PLC控制同步伸缩。

本实用新型技术效果主要体现：本实用新型通过在真空室内设置有内装式挡板，在精抽泵两端设置若干个伸缩缸，若干个伸缩缸输出端与内装式挡板相固定，当精抽泵与真空室之间需要有阀门隔断时，若干个伸缩缸回缩，内装式挡板上的挡板密封圈卡入与精抽泵相连通的阶梯孔中，实现密封；当分子泵与真空室之间不需要阀门隔断时，若干个伸缩缸伸长，内装式挡板上的挡板密封圈与精抽泵相连通的阶梯孔相远离，实现精抽泵连通真空室，本实用新型结构简单，依靠真空室壁实现阀门隔断功能，因而节省安装空间。

附图说明

图1为本实用新型一种高真空用内装式挡板阀的结构图。

图2为图1中一种高真空用内装式挡板阀的密封状态图。

图3为图1中A处的局部放大图。

图4为图1中内装式挡板的俯视图。

具体实施方式

以下结合附图，对本实用新型的具体实施方式作进一步详述，以使本实用新型技术方案更易于理解和掌握。