[实用新型]换靶装置和镀膜设备有效
| 申请号： | 202320148129.1 | 申请日： | 2023-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN219010433U | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 请求不公布姓名 | 申请（专利权）人： | 广东利元亨智能装备股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 梁晓婷 |
| 地址： | 516057 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及镀膜技术领域，具体而言，涉及一种换靶装置和镀膜设备。换靶装置包括主架体、换靶平台以及驱动组件；换靶平台与主架体可转动地连接，换靶平台用于容置阴极组件；驱动组件与主架体连接，且与换靶平台传动连接，驱动组件用于驱动换靶平台相对于主架体转动，以使得换靶平台具备装卸阴极组件的第一位置，以及更换阴极组件的靶材的第二位置。该镀膜设备通过采用换靶装置进行换靶操作，能够简化换靶的步骤，从而能够提高换靶的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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