[实用新型]换靶装置和镀膜设备

说明书

本实用新型涉及镀膜技术领域，具体而言，涉及一种换靶装置和镀膜设备。换靶装置包括主架体、换靶平台以及驱动组件；换靶平台与主架体可转动地连接，换靶平台用于容置阴极组件；驱动组件与主架体连接，且与换靶平台传动连接，驱动组件用于驱动换靶平台相对于主架体转动，以使得换靶平台具备装卸阴极组件的第一位置，以及更换阴极组件的靶材的第二位置。该镀膜设备通过采用换靶装置进行换靶操作，能够简化换靶的步骤，从而能够提高换靶的效率。

技术领域

本实用新型涉及镀膜技术领域，具体而言，涉及一种换靶装置和镀膜设备。

背景技术

镀膜生产中，镀膜设备根据生产需要须经常更换靶材，而现有的更换靶材的方式需要多个工作人员操作多台设备进行，从而存在换靶步骤复杂，且换靶效率低的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种换靶装置和镀膜设备，其能够简化换靶的步骤，从而能够提高换靶的效率。

本实用新型的实施例是这样实现的：

第一方面，本实用新型提供一种换靶装置，换靶装置包括主架体、换靶平台以及驱动组件；

换靶平台与主架体可转动地连接，换靶平台用于容置阴极组件；

驱动组件与主架体连接，且与换靶平台传动连接，驱动组件用于驱动换靶平台相对于主架体转动，以使得换靶平台具备装卸阴极组件的第一位置，以及更换阴极组件的靶材的第二位置。

在可选的实施方式中，换靶平台具备容置阴极组件的安装腔。

在可选的实施方式中，安装腔内设置有多个连接件，多个连接件均用于与阴极组件连接。

在可选的实施方式中，驱动组件包括驱动电机以及传动件；

沿换靶平台的转动轴线方向，驱动电机及传动件连接于主架体的同一端，且传动件传动连接驱动电机及换靶平台。

在可选的实施方式中，第一位置与第二位置的角度差为180°。

在可选的实施方式中，换靶装置还包括与主架体连接的吹气回水管路，沿换靶平台的转动轴线方向，吹气回水管路连接于主架体的一端。

在可选的实施方式中，换靶装置还包括与主架体连接的限位件，限位件用于限制换靶平台的转动。

在可选的实施方式中，限位件包括与主架体连接的限位台以及限位销；

换靶平台开设有限位孔；限位销与限位台可活动地连接，且限位销用于在换靶平台处于第一位置或第二位置时，与限位孔配合。

在可选的实施方式中，换靶平台开设有第一限位孔及第二限位孔；第一限位孔及第二限位孔相对于换靶平台的转动轴线对称设置。

第二方面，本实用新型提供一种镀膜设备，镀膜设备包括上述的换靶装置。

本实用新型实施例的有益效果包括:

该换靶装置包括主架体、换靶平台以及驱动组件；换靶平台与主架体可转动地连接，换靶平台用于容置阴极组件；驱动组件与主架体连接，且与换靶平台传动连接，驱动组件用于驱动换靶平台相对于主架体转动，以使得换靶平台具备装卸阴极组件的第一位置，以及更换阴极组件的靶材的第二位置。

由此，镀膜设备通过采用该换靶装置进行换靶操作，能够在换靶的过程中，通过换靶平台起到承载并调整阴极组件的位置的作用，进而能够减少换靶过程中的设备，并且能够减少换靶操作所需的工作人员的数量，简化换靶的操作步骤，从而能够提高换靶的效率，进而能够提高镀膜设备的工作效率。

附图说明