[实用新型]换靶装置和镀膜设备

权利要求书

1.一种换靶装置，其特征在于：

所述换靶装置包括主架体、换靶平台以及驱动组件；

所述换靶平台与所述主架体可转动地连接，所述换靶平台用于容置阴极组件；

所述驱动组件与所述主架体连接，且与所述换靶平台传动连接，所述驱动组件用于驱动所述换靶平台相对于所述主架体转动，以使得所述换靶平台具备装卸所述阴极组件的第一位置，以及更换所述阴极组件的靶材的第二位置。

2.根据权利要求1所述的换靶装置，其特征在于：

所述换靶平台具备容置所述阴极组件的安装腔。

3.根据权利要求2所述的换靶装置，其特征在于：

所述安装腔内设置有多个连接件，多个所述连接件均用于与所述阴极组件连接。

4.根据权利要求1所述的换靶装置，其特征在于：

所述驱动组件包括驱动电机以及传动件；

沿所述换靶平台的转动轴线方向，所述驱动电机及所述传动件连接于所述主架体的同一端，且所述传动件传动连接所述驱动电机及所述换靶平台。

5.根据权利要求1所述的换靶装置，其特征在于：

所述第一位置与所述第二位置的角度差为180°。

6.根据权利要求1-5中任意一项所述的换靶装置，其特征在于：

所述换靶装置还包括与所述主架体连接的吹气回水管路，沿所述换靶平台的转动轴线方向，所述吹气回水管路连接于所述主架体的一端。

7.根据权利要求1-5中任意一项所述的换靶装置，其特征在于：

所述换靶装置还包括与所述主架体连接的限位件，所述限位件用于限制所述换靶平台的转动。

8.根据权利要求7所述的换靶装置，其特征在于：

所述限位件包括与所述主架体连接的限位台以及限位销；

所述换靶平台开设有限位孔；所述限位销与所述限位台可活动地连接，且所述限位销用于在所述换靶平台处于所述第一位置或所述第二位置时，与所述限位孔配合。

9.根据权利要求8所述的换靶装置，其特征在于：

所述换靶平台开设有第一限位孔及第二限位孔；所述第一限位孔及所述第二限位孔相对于所述换靶平台的转动轴线对称设置。

10.一种镀膜设备，其特征在于：

所述镀膜设备包括如权利要求1-9中任意一项所述的换靶装置。