[实用新型]一种半导体晶棒自动翻转装置有效
| 申请号： | 202320146915.8 | 申请日： | 2023-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN219309436U | 公开（公告）日： | 2023-07-07 |
| 发明（设计）人： | 王云飞;袁大飞;李天兵;贾世杰;董知悦;魏守冲 | 申请（专利权）人： | 磐石创新（江苏）电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02;B08B3/08;B08B3/04;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京东方昭阳知识产权代理事务所(普通合伙) 11599 | 代理人： | 吕燕 |
| 地址： | 221011 江苏省徐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种半导体晶棒自动翻转装置，设有刷洗槽、由驱动装置驱动的旋转毛刷；其特征是：在所述刷洗槽内，旋转毛刷的下方设有放置待清洗的晶棒的限位板，在该限位板上设有数条用以放置晶棒的限位卡槽，在每个限位止槽之间设有限位盘条，在每个限位卡槽的下方设有一根驱动轴，该驱动轴的轴体表面设有滚花沟槽，轴体两端设有方便转动的轴承方便地固定在所述限位板上，每个驱动轴有一端与设置在刷洗槽外的驱动机构驱动连接的主动齿轮带动的一个从动齿轮驱动连接。本实用新型适用于半导体晶棒的清洗，具有结构简洁合理、制作容易、使用操作安全快捷、晶棒清洗效果好的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 自动 翻转 装置 | ||
【主权项】：
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