[实用新型]前开式物料盒的洁净度检测装置有效
| 申请号： | 202320120878.3 | 申请日： | 2023-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN219552382U | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 叶步章 | 申请（专利权）人： | 科峤工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00;B08B5/02;B08B13/00;H01L21/673;G01N15/06 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 李林 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种前开式物料盒的洁净度检测装置，用于检测前开式物料盒的一盒体和一前盖的内壁，该检测装置包括一检测框及至少一移载器，该检测框分离配置一供气管道和一撷气管道，凭借该移载器驱动该盒体、该前盖、该检测框的至少其中之二，驱使该检测框对接于该盒体和该前盖之间并且彼此相互连通而形成一气体腔室，并经由一供气管道导引一检测气体进入该气体腔室，吹拂并挟带该气体腔室内和所述内壁上的至少一洁净度判断因子，再经由一撷气管道撷取该气体腔室内的检测气体至所述洁净度检测组件，据以检知至少一洁净度判断因子的含量。 | ||
| 搜索关键词： | 前开式 物料 洁净 检测 装置 | ||
【主权项】：
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