[实用新型]前开式物料盒的洁净度检测装置有效
申请号: | 202320120878.3 | 申请日: | 2023-01-13 |
公开(公告)号: | CN219552382U | 公开(公告)日: | 2023-08-18 |
发明(设计)人: | 叶步章 | 申请(专利权)人: | 科峤工业股份有限公司 |
主分类号: | G01N33/00 | 分类号: | G01N33/00;B08B5/02;B08B13/00;H01L21/673;G01N15/06 |
代理公司: | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人: | 李林 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 前开式 物料 洁净 检测 装置 | ||
1.一种前开式物料盒的洁净度检测装置,用于检测前开式物料盒的一盒体和一前盖的内壁,其特征在于,所述洁净度检测装置包括有:
一中空的检测框,其上分离配置有一供气管道和一撷气管道;及
至少一移载器,用于驱动该盒体、该前盖、该检测框的至少其中之二,驱使该检测框能对接于该盒体和该前盖之间成一体,并使该盒体、该检测框和该前盖的内部相互连通形成一气体腔室,且该盒体、该检测框和该前盖各自的内壁分别显露于该气体腔室的四周;
其中,该供气管道和该撷气管道分别连通该气体腔室,该供气管道用于导引一检测气体进入该气体腔室,吹拂并挟带该气体腔室内和所述内壁上的至少一洁净度判断因子,该撷气管道外接有至少一洁净度检测组件,使该撷气管道用于撷取该气体腔室内已挟带有所述洁净度判断因子的检测气体,供至少一所述洁净度检测组件检知至少一洁净度判断因子的含量。
2.如权利要求1所述的前开式物料盒的洁净度检测装置,其特征在于:该检测框两端分别形成有一盒体对接端部及一前盖对接端部,该检测框经由该盒体对接端部和该盒体的一开口端部相互对接,且该检测框经由该前盖对接端部和该前盖的一罩合端部相互对接。
3.如权利要求2所述的前开式物料盒的洁净度检测装置,其特征在于:该检测框内形成连通该盒体对接端部和该前盖对接端部的一框孔,且该框孔内配置有至少一撷气口及多个分别朝向该盒体四周内壁的喷头,该供气管道连接多个所述喷头而导引所述检测气体进入该气体腔室,该撷气管道连接至少一所述撷气口而撷取该气体腔室内挟带有所述洁净度判断因子的检测气体。
4.如权利要求3所述的前开式物料盒的洁净度检测装置,其特征在于:多个所述喷头分布于至少一所述撷气口的外围。
5.如权利要求3所述的前开式物料盒的洁净度检测装置,其特征在于:该框孔的内壁显露于该气体腔室内的面积,小于该盒体和该前盖的内壁面积的总合。
6.如权利要求1所述的前开式物料盒的洁净度检测装置,其特征在于:至少一所述移载器为具有多轴向移动能力的一机械手臂。
7.如权利要求1所述的前开式物料盒的洁净度检测装置,其特征在于:至少一所述移载器包含能往复驱动该检测框沿一X轴向位移的一检测滑台,以及能往复驱动该盒体和该前盖各自沿一Z轴向位移而和该检测框对接的至少一升降器。
8.如权利要求7所述的前开式物料盒的洁净度检测装置,其特征在于:至少一所述升降器包含一盒体取放手臂和一前盖升降台。
9.如权利要求1所述的前开式物料盒的洁净度检测装置,其特征在于:该盒体止动,使该盒体的一开口沿一Y轴向开放,至少一所述移载器包含能往复驱动该检测框沿一X-Y轴向位移的一检测滑台,以及能往复驱动该前盖沿一Y轴向对接该检测框和闭合该盒体的开口的一开盖滑台。
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