[发明专利]磁传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202311196827.X | 申请日： | 2023-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN116930833A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 薛松生;郭海平 | 申请（专利权）人： | 江苏多维科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R33/09 | 分类号： | G01R33/09;G01R33/00;G01R3/00;H10N59/00;H10N50/10;H10N50/01 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463 | 代理人： | 方晓燕 |
| 地址： | 215634 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请提供了一种磁传感器及其制备方法。磁传感器包括多个磁阻元件。每个磁阻元件包括依次层叠设置的反铁磁层、钉扎层、参考层、势垒层和自由层，自由层为涡旋磁结构。自由层沿预设方向进行磁退火处理，以使自由层中的涡旋磁结构获得与参考层钉扎方向的夹角为45°或135°的磁各向异性，使得探测磁场X分量、Y分量的涡旋磁结构分别对磁场的X轴、Y轴磁场分量产生磁场电阻响应曲线相同，因此可以平衡探测磁场X轴分量与磁场Y轴分量的性能，从而更容易解耦出磁场的大小和方向。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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