[发明专利]离子发生装置及粒子移除方法在审
| 申请号： | 202311093023.7 | 申请日： | 2023-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN116798844A | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 张洪国;唐继远;张浩宇;周同亮;汤晨宇 | 申请（专利权）人： | 江苏鹏举半导体设备技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 徐世俊 |
| 地址： | 226010 江苏省南通市开*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了一种离子发生装置及粒子移除方法，所述离子发生装置包括：本体，其内设有收容腔，所述收容腔用于收容衬底；离子源，收容于所述收容腔中，并与所述衬底相对设置；第一栅网和第二栅网，相互连接；栅网驱动机构，连接并驱动所述第一栅网和第二栅网在第一方向上运动，以使所述第一栅网和第二栅网中的任意一个遮掩于所述离子源和衬底之间；离子源驱动机构，连接并驱动所述离子源在第二方向上运动，以使所述离子源靠近或远离所述衬底；所述第一栅网上的图案与所述第二栅网上的图案互补；所述粒子移除方法采用了上述的离子发生装置。本发明解决了半导体制程中对于材料的定向移除的精度不高的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 发生 装置 粒子 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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