[发明专利]一种利用光束偏振测量亚微米激光光斑尺寸的装置及方法在审
| 申请号： | 202311035246.8 | 申请日： | 2023-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN116753839A | 公开（公告）日： | 2023-09-15 |
| 发明（设计）人： | 卢恒;莫泽;陈风楠 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01J1/42;G01J1/04 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 马进 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种利用光束偏振测量亚微米激光光斑尺寸的装置及方法，旨在解决现有技术中测量亚微米高斯光束光斑尺寸的方法存在测量精度不高，操作繁琐，装置成本高等问题，其基于激光光束的偏振特性，利用半波片、四分之一波片等多种偏振光学元件来调节光束的偏振态，实现了反射光路中亚微米激光光束尺寸的测量，同时建立了相应的数学模型进行光斑尺寸的计算，保证测量精度的同时操作简单方便。本发明可以对亚微米级别的光斑进行测量，同时保证测量精度，操作简单方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 光束 偏振 测量 微米 激光 光斑 尺寸 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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