[发明专利]基于杠杆式静电梳齿设计的准零刚度MEMS加速度计在审
| 申请号： | 202311026227.9 | 申请日： | 2023-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN116735911A | 公开（公告）日： | 2023-09-12 |
| 发明（设计）人： | 宦荣华;刘志强;施展;马泽军;黄志龙 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/08 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 杨亚男 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于杠杆式静电梳齿设计的准零刚度MEMS加速度计，属于准零刚度加速度计领域。包括敏感质量块、杠杆模块、驱动及检测梳齿模块、轴向力梳齿模块；敏感质量块通过直梁与杠杆模块的阻力臂相连；驱动及检测梳齿模块位于敏感质量块的上下侧；轴向力梳齿模块中的固定梳齿阵列固定，可动梳齿阵列连接杠杆模块的动力臂；杠杆模块为力的转化结构，用于将轴向力梳齿模块所产生的静电力转化为连接敏感质量块的直梁端部的轴向压力，杠杆模块的动力臂长度大于阻力臂长度。本发明在加速度计中利用杠杆的放大效果，将静电梳齿产生的力按比例放大施加在梁的自由端，大大降低了静电力所需的电压，解决了静电不能产生斥力的困扰。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 杠杆 静电 梳齿 设计 刚度 mems 加速度计 | ||
【主权项】：
暂无信息
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