[发明专利]多晶陶瓷衬底及其制造方法在审
申请号: | 202310934487.X | 申请日: | 2017-06-13 |
公开(公告)号: | CN116936703A | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 弗拉基米尔·奥德诺博柳多夫;杰姆·巴斯切里;莎丽·法伦斯 | 申请(专利权)人: | 克罗米斯有限公司 |
主分类号: | H01L33/20 | 分类号: | H01L33/20;H01L33/44;H01L33/00 |
代理公司: | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 景怀宇 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 一种制造陶瓷衬底结构的方法,包括:提供陶瓷衬底,将陶瓷衬底封装在阻挡层中,和形成联接到阻挡层的键合层。该方法进一步包括移除键合层的一部分以暴露阻挡层的至少一部分并限定填充区域,和在暴露的阻挡层的至少一部分以及填充区域上沉积第二键合层。 | ||
搜索关键词: | 多晶 陶瓷 衬底 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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