[发明专利]一种表面改性处理设备及改性处理方法有效
| 申请号： | 202310905793.0 | 申请日： | 2023-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN116631834B | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 林默原;章莹;姚利峰 | 申请（专利权）人： | 苏州迈微能等离子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/08;H01J37/16 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 吴芳 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种表面改性处理设备及改性处理方法，表面改性处理设备包括真空腔、等离子体源装置、滚筒和驱动组件，真空腔包括可开合的腔体和腔门，腔体和/或腔门上设有真空抽气口；等离子体源装置设置在真空腔外，其被配置为产生等离子物质；被配置为容纳待处理材料的滚筒设置在真空腔内，滚筒的内部与真空腔连通；驱动组件被配置为驱动滚筒转动；其中，等离子体源装置产生的等离子通过导流通道输入至真空腔内。本发明通过将等离子激发区和材料处理区分隔设计，使得等离子放电过程不受处理物以及处理物的运动影响，实现稳定放电，进而提高材料处理质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 改性 处理 设备 方法 | ||
【主权项】：
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