[发明专利]一种沉积尺寸可调的环形金刚石化学气相沉积装置

摘要

在微波等离子体化学气相沉积金刚石领域中，本发明提供一种沉积尺寸可调的环形金刚石化学气相沉积装置，包括微波入口、同轴天线、第一谐振腔、第二谐振腔、第三谐振腔、环形调谐腔、屏蔽台、腔室底、衬底、腔室壁、真空石英环、进气口、排气口、环形等离子体区、调谐腔进水管、调谐腔出水管、屏蔽台出水管、屏蔽台进水管。通过对第一谐振腔、第二谐振腔和第三谐振腔的设计，在装置底部形成强化TM02模式的电场，然后在第三谐振腔中心设计屏蔽台，屏蔽中心的半球形电场，最终形成环形等离子体区域。当待沉积的环形金刚石的尺寸需要变更时，更换内径尺寸不同的环形调谐腔和直径不同的屏蔽台，环形调谐腔和屏蔽台支持拆卸。