[发明专利]涂层蒸发舟及其制备方法在审
| 申请号： | 202310758760.8 | 申请日： | 2023-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN116926475A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 伽龙;刘志康;殷国峰;吴明忠;满治强 | 申请（专利权）人： | 浙江柔震科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C4/129;C23C4/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 314400 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种涂层蒸发舟及其制备方法，该方法是首先将纳米氧化铝和纳米氮化硅粉末加入到溶剂中，配置好的溶液在超声仪中超声使粉末分散均匀，超声结束后水浴干燥，然后将其放于干燥箱中于干燥，随后将其取出通过研钵充分研磨，进一步使粉末分散均匀，研磨结束后再将其放于干燥箱中于干燥。再通过热喷涂技术在石墨蒸发舟基体上喷涂60‑150nm厚的复合材料涂层，最后利用直磨机打磨蒸发舟表面。本发明方法制备的涂层蒸发舟的工艺可控性高，制备的涂层蒸发舟的涂层厚度选择性广，并且涂层蒸发舟的耐腐蚀性更优，利用此涂层蒸发舟生产的铝膜的孔洞水平更好，具有广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 涂层 蒸发 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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