[发明专利]微纳光纤集成的微流控悬臂梁质量传感器和方法在审

专利信息
申请号: 202310681135.8 申请日: 2023-06-09
公开(公告)号: CN116929512A 公开(公告)日: 2023-10-24
发明(设计)人: 潘婧;谢宇;张磊 申请(专利权)人: 之江实验室
主分类号: G01G3/16 分类号: G01G3/16
代理公司: 杭州求是专利事务所有限公司 33200 代理人: 林超
地址: 311121 浙江省杭*** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明公开了一种微纳光纤集成的微流控悬臂梁质量传感器和方法。振动结构用于对传感结构产生主动振动进而用于检测质量,传感结构用于容纳待测溶液而被振动结构带动产生被动振动进而检测振动反映质量;传感结构包括悬臂梁、微流控通道和微纳光纤,悬臂梁,一端布置在振动结构的压电陶瓷上面,另一端悬空伸出于振动结构的压电陶瓷,悬臂梁受振动结构带动而振动,微流控通道埋设在悬臂梁中用于容纳待测溶液;微纳光纤布置在悬臂梁上用于检测悬臂梁的振动。本发明能方便快捷地获得悬臂梁本征振动频率的频移数据,从而得到通道内液体质量的微小变化,具有系统集成度高、灵敏度高的特点,并且悬臂梁质量传感器的灵敏度、动态响应范围均可调。
搜索关键词: 光纤 集成 微流控 悬臂梁 质量 传感器 方法
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于之江实验室,未经之江实验室许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202310681135.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。

同类专利
  • 微纳光纤集成的微流控悬臂梁质量传感器和方法-202310681135.8
  • 潘婧;谢宇;张磊 - 之江实验室
  • 2023-06-09 - 2023-10-24 - G01G3/16
  • 本发明公开了一种微纳光纤集成的微流控悬臂梁质量传感器和方法。振动结构用于对传感结构产生主动振动进而用于检测质量,传感结构用于容纳待测溶液而被振动结构带动产生被动振动进而检测振动反映质量;传感结构包括悬臂梁、微流控通道和微纳光纤,悬臂梁,一端布置在振动结构的压电陶瓷上面,另一端悬空伸出于振动结构的压电陶瓷,悬臂梁受振动结构带动而振动,微流控通道埋设在悬臂梁中用于容纳待测溶液;微纳光纤布置在悬臂梁上用于检测悬臂梁的振动。本发明能方便快捷地获得悬臂梁本征振动频率的频移数据,从而得到通道内液体质量的微小变化,具有系统集成度高、灵敏度高的特点,并且悬臂梁质量传感器的灵敏度、动态响应范围均可调。
  • 用于自动处理机的质量测量仪器及质量测量方法-202080035887.1
  • 马尔科·米纳尔迪 - I·M·A·工业机械自动装置股份公司
  • 2020-05-12 - 2023-07-25 - G01G3/16
  • 一种与自动处理机相关联的用于测量制品或制品的一部分的质量的质量测量仪器,包括:转移和夹持装置;致动器装置;传感器装置;处理单元,连接到传感器装置以及被布置成接收振动响应信号并控制致动器装置,以便生成该致动器装置的致动信号,以能够使支撑制品或制品的一部分的夹持元件以操作共振频率振动,然后通过将操作共振频率与夹持元件单独的共振频率进行比较来计算制品或制品的一部分的质量;或者替代地被布置成生成致动器装置的致动信号,以使支撑制品或制品的一部分的夹持元件以夹持元件单独的特定共振频率振动,并通过测量致动器装置的致动信号和由所述传感器装置检测的振动响应信号之间的操作相位差来计算制品或制品的一部分的质量。
  • 一种测重用振弦式传感器-202211630099.4
  • 孙厚钧;高军 - 北京华特克林科技有限公司
  • 2022-12-19 - 2023-05-26 - G01G3/16
  • 本发明公开了一种测重用振弦式传感器,涉及到振弦式传感器技术领域,包括弹性体主体和四个凸板,四个所述凸板的侧部均开设有安装凹槽,四个所述安装凹槽内均可拆卸安装有安装凸块,每两个相对应的所述安装凸块相互靠近的侧部均共同安装有钢弦,所述弹性体主体的顶部对称开设有两个竖直转孔,两个所述竖直转孔内均转动安装有竖直转杆。本发明结构合理,当转动调节旋钮时,会带动两个竖直转杆同时转动,竖直转杆会通过U形转块将钢弦缠绕拉紧,进而实现了可一起对两个钢弦进行同时调节张紧度的目的,无需逐一进行调节,省时省力,且可有效减少出现因两个钢弦的张紧度不一致而影响到振弦传感器的测量精准度的情况,实用性好。
  • 一种集成型差频石英晶体微量天平-202211436093.3
  • 王鹢;宗朝;张海燕;王永军;李存惠;李世勋;常思远;赵呈选;庄建宏;刘泽;陈光锋 - 兰州空间技术物理研究所
  • 2022-11-16 - 2023-02-03 - G01G3/16
  • 本申请涉及空间尘埃探测技术领域,具体而言,涉及一种集成型差频石英晶体微量天平,包括机壳盖板、机壳底板以及SMB连接器,其中:机壳盖板通过紧固螺钉固定在机壳底板上;SMB连接器通过螺钉固定在机壳盖板的侧面;机壳盖板的内部设置有沉积石英晶体、基准石英晶体以及振荡电路板,振荡电路板通过安装台与机壳底板固定连接,沉积石英晶体和基准石英晶体均焊接在振荡电路板上;机壳盖板的顶面开设有窗口,沉积石英晶体通过窗口露出,与外界环境接触。本申请将两个石英晶体紧密相邻布置,使得两片石英晶体因环境因素引起的频率变化近似相等,通过后端的差频电路求频率差后相互减扣,将环境因素对测量精度的影响降至最低。
  • 基于氮化硼碳纳米管异质结构的质量传感器及其测量方法-202210774089.1
  • 毕可东;尤康仁 - 东南大学
  • 2022-07-01 - 2022-11-08 - G01G3/16
  • 本发明涉及纳米质量传感器领域,尤其涉及一种基于氮化硼碳纳米管异质结构的质量传感器。包括氮化硼纳米管和设置在氮化硼纳米管内的碳纳米管;氮化硼碳纳米管为异质结构。本发明提供的质量传感器尺寸较小、灵敏度高、能够实现微小质量的检测。外层氮化硼纳米管的化学惰性保证了质量传感器质量传感性能的稳定,氮化硼纳米管和碳纳米管优良的质量传感性能保证了质量传感器的灵敏度。
  • 一种新型凹台环形结构的石英晶体微天平-202210642534.9
  • 蒋海峰;许志伟;唐龙飞 - 南京理工大学
  • 2022-06-08 - 2022-09-27 - G01G3/16
  • 本发明公开了一种新型凹台环形结构的石英晶体微天平,包括带有凹台的石英晶片,附着在上下表面的金属电极,下表面为圆形电极,上表面为环形电极;石英晶片下表面平整,上表面中心区域蚀刻了一个反台面,反台面半径大于圆形电极半径区域,周围不变。本发明对环形石英晶体微天平的结构进行改进设计,通过蚀刻凹槽的方式,解决了环形电极QCM在均匀化质量灵敏度时绝对质量灵敏度下降这一问题,这种特殊设计既减少了重复性误差,又提高了检测精度。
  • 利用频谱分析的称重装置-202080071832.6
  • C·赫里茨乌斯;E·B·品克;H·梅恩伯格 - V-楚格股份公司
  • 2020-10-07 - 2022-05-27 - G01G3/16
  • 本发明涉及一种称重装置,例如用于厨房的称重装置。其具有用于支撑待测量的物体的支撑板(1)和控制装置(16)。此外,设有用于在支撑板(1)中产生机械振动的激发机构(12)以及用于测量支撑板(1)的机械振动的测量机构(14)。借助激发机构(12)和测量机构(14)测定支撑板(1)的一个或者多个共振频率和/或其它频谱特性,并且将这些共振频率和/或频谱特性例如用于确定物体的质量。
  • 一种估算装运集装箱及其内容物的质量的方法-201810049889.0
  • 沙哈尔·塔尔 - 沙哈尔·塔尔
  • 2018-01-18 - 2021-12-03 - G01G3/16
  • 公开了当装运集装箱在平台上运输时估算装运集装箱的质量的装置和方法。首先,从可操作地附接到装运集装箱的至少一个传感器接收装运集装箱的加速度数据或者计算加速度信息。进一步地,接收与装运集装箱关联的声学信号。此外,在声学信号变得大于阈值时,对在时间间隔内的加速度数据或所计算的加速度信息进行处理,以根据加速度数据和所计算的加速度信息中的至少一个来估算装运集装箱的质量。
  • 一种基于模态局部化效应的高阶模态微质量传感器-202010186923.6
  • 吕明;赵剑;刘蓬勃 - 大连理工大学
  • 2020-03-17 - 2021-08-03 - G01G3/16
  • 本发明公开了一种基于模态局部化效应的高阶模态微质量传感器,属于微机电系统领域,包括第一固支梁、第二固支梁、上耦合电极Ⅰ、上耦合电极Ⅱ、下耦合电极Ⅰ、下耦合电极Ⅱ、固定电极Ⅰ、固定电极Ⅱ、耦合电压源和驱动电压源;第一固支梁两端分别通过固定端Ⅰ和固定端Ⅱ固定;第二固支梁两端分别通过固定端Ⅲ和固定端Ⅳ固定;上耦合电极Ⅰ和上耦合电极Ⅱ固定在第一固支梁的下表面两端;下耦合电极Ⅰ和下耦合电极Ⅱ固定在第二固支梁的上表面两端;第一固支梁的下表面和第二固支梁的上表面之间施加耦合电压源实现相对应的静电耦合连接;固定电极Ⅰ和固定电极Ⅱ分别与驱动电压源相连接;固定电极Ⅰ和固定电极Ⅱ固定在第二固支梁的下方,该发明结构简单,驱动方式易于调节,无需进行任何的结构优化,具有工艺简单,构型稳定易于加工等优点,因而可广泛应用在各个方面。
  • 一种水凝胶薄膜修饰的石英晶体微天平传感器及其制备方法和应用-202110169149.2
  • 曹峥;管清宝 - 东华大学
  • 2021-02-07 - 2021-06-15 - G01G3/16
  • 本发明涉及一种水凝胶薄膜修饰的石英晶体微天平传感器及其制备方法和应用,由含有聚丙烯酰胺/壳聚糖/氧化石墨烯水凝胶前驱体溶液的石英晶片经过聚合与交联反应而得。由于壳聚糖分子结构中含有丰富的氨基基团,氧化石墨烯在表面及边缘上具有大量含氧基团,使得水凝胶可以作为亲水性材料,基于该水凝胶的石英晶体微天平传感器具有较高的灵敏度和响应性,具有良好的应用前景。
  • 一种谐振系统的质量检测方法-201911170947.6
  • 于虹;毛诗涵;王旻 - 东南大学
  • 2019-11-26 - 2021-05-11 - G01G3/16
  • 本发明公开了一种用于微小质量检测的耦合双端固支梁谐振器及质量检测方法,谐振器包括第一双端固支梁、第二双端固支梁、第一耦合区域和第二耦合区域,第一双端固支梁和第二双端固支梁平行设置,且第一双端固支梁和第二双端固支梁的第一同向端固定在第一耦合区域上,第一双端固支梁和第二双端固支梁的第二同向端固定在第二耦合区域上。利用3D激光生物打印机在每个双端固支梁上打印微小质量块,实现微小质量的加载。本发明利用压电陶瓷驱动的方法驱动谐振器振动,利用多普勒显微扫描振动测量系统,采用逐点扫描的方法测试谐振器的频谱变化。根据耦合双端固支梁反对称模式下谐振频率f2与质量的关系,可以实现微小质量检测。
  • 一种石英晶体微天平的静态电容补偿电路和方法-201910653127.6
  • 马英明;刘振邦;包宇;牛利;王伟 - 广州大学
  • 2019-07-19 - 2021-04-02 - G01G3/16
  • 本发明公开了一种石英晶体微天平的静态电容补偿电路和方法,所述静态电容补偿电路包括电位控制单元、直流控制单元、静态电容补偿单元、信号衰减单元和信号采集单元;方案在电路中加入一变容二极管,通过直流控制单元控制变容二极管电容量的大小,对变容二极管施加一交流电压使得通过变容二极管的电流与流过石英晶体静态电容的电流大小相等,相互抵消,从而达到电容补偿的目的;由运算放大器和变容二极管构成电容补偿单元,对石英晶体静态电容进行精确补偿,实现静态电容的自动补偿,补偿准确度及稳定性良好。电容补偿范围为:2pF‑30pF,电容补偿精度±2pF。
  • 一种用于气体检测的石英晶体微天平传感器-201910896665.8
  • 封雷;崔学晨;崔实;许文俭 - 崔学晨
  • 2019-09-23 - 2021-03-23 - G01G3/16
  • 本发明提供一种用于气体检测的石英晶体微天平传感器,属于科学检测仪器领域。它包括传感器壳体和两个石英晶体片总成,所述传感器壳体为立方体,该壳体设置有贯通的气体通道和分别对称设置石英晶体片总成安装孔,该安装孔与气体通道轴向垂直并通透;所述两个石英晶体片总成具有相同结构,其一端为插接端,该插接端与传感器壳体的石英晶体片总成安装孔配合,在该插接端设置有石英晶体片插件,其另一端设置有电磁辐射屏蔽引线接口。本发明使安装和更换石英晶体片的操作更加方便,并可避免出现安装应力;使两个测量单元处于同一检测环境中,使之可以同步检测以消除系统误差提高测量的准确度。
  • 用患者定位设备确定患者重量的方法、装置和程序产品-201711252110.7
  • A·克拉默;M·米勒;J·泽德勒 - 西门子医疗有限公司
  • 2017-12-01 - 2021-01-29 - G01G3/16
  • 本发明涉及用患者定位设备确定患者重量的方法、装置和程序产品。公开了一种用于自动确定患者(10)的患者重量的方法,患者(10)躺在患者定位设备(1)的台面(2)上,其中台面(2)沿着至少一个可预先确定的轴线(3)的机动化移动通过弹性传动系元件(4)将台面(2)设置为处于振动中,并且从所确定的振动频率来确定患者重量振动。本发明还公开了一种相关联的装置、计算机程序产品和计算机可读介质。本发明提供的优点可以以简单的方式确定躺在患者定位设备上的患者的重量。
  • 一种定频压电微质量传感器的测量电路与装置-202010296618.2
  • 刘蓬勃;赵剑;吕明 - 大连理工大学
  • 2020-04-15 - 2020-08-04 - G01G3/16
  • 本发明提供一种定频压电微质量传感器的测量电路与装置,包括:定频阻抗分析模块、ARM微处理器模块、数据存储模块、蓝牙通讯模块、显示模块、按键模块和电源模块。定频阻抗分析模块与外部压电微质量传感器连接,通过定频方式检测传感器的阻抗幅值变化,并将压电微质量传感器的数据传输给ARM微处理器模块;ARM微处理器模块将采集到的阻抗幅值变化计算为微质量检测数值,并与数据存储模块、蓝牙通讯模块、显示模块以及按键模块连接,实现数据的存储和人机的交互;电源模块为其它模块提供稳定的电能。本发明作为针对压电微质量传感器专用设备,结构简单、体积小、重量轻、价格便宜,可与压电微质量传感器紧密集成。
  • 一种用于气体检测的石英晶体微天平传感器-201921577910.0
  • 封雷;崔学晨;崔实;许文俭 - 崔学晨
  • 2019-09-23 - 2020-04-28 - G01G3/16
  • 本实用新型提供一种用于气体检测的石英晶体微天平传感器,属于科学检测仪器领域。它包括传感器壳体和两个石英晶体片总成,所述传感器壳体为立方体,该壳体设置有贯通的气体通道和分别对称设置石英晶体片总成安装孔,该安装孔与气体通道轴向垂直并通透;所述两个石英晶体片总成具有相同结构,其一端为插接端,该插接端与传感器壳体的石英晶体片总成安装孔配合,在该插接端设置有石英晶体片插件,其另一端设置有电磁辐射屏蔽引线接口。本实用新型使安装和更换石英晶体片的操作更加方便,并可避免出现安装应力;使两个测量单元处于同一检测环境中,使之可以同步检测以消除系统误差提高测量的准确度。
  • 一种快速动态称重传感器-201811128902.8
  • 黄显核 - 黄显核
  • 2018-09-26 - 2020-04-03 - G01G3/16
  • 为了实现物体在移动过程中对其质量的准确、快速的测量,本发明提供了一种基于石英晶体谐振器(QCR)的动态称重传感器,属于电子技术领域。其中方案一采用QCR和控制金属板,将重量变化通过电场的临近效应转换为QCR谐振频率的变化,等效于QCR串联了一个负载电容。方案二采用两块金属板构成电容器与QCR串联,将物体重量变化转化为金属板之间距离的变化,这导致负载电容变化从而引起QCR串联谐振频率变化。方案三采用压敏传感器、变容二极管和QCR,重量的变化通过压敏传感器通过电网络改变变容二极管的偏压,从而改变二极管的电容,此电容与QCR串联,这导致QCR串联谐振频率变化。三种方案均具有适应宽速度范围,精确度高,装置简单和成本低廉的优点。
  • 石英晶体微天平镀膜晶振片并联电容抵消及指示电路-201710166303.4
  • 戴庆 - 中科康磁医疗科技(苏州)有限公司
  • 2017-03-20 - 2019-09-24 - G01G3/16
  • 本发明提供了一种石英晶体微天平镀膜晶振片并联电容抵消及指示电路,包括模拟振荡电路以及晶振片并联电容补偿及指示电路,其特征在于:所述模拟振荡电路由自动增益放大器电路、巴伦及变容二极管电路、反馈放大电路及低通滤波电路组成;所述晶振片并联电容补偿及指示电路包括增益指示电压检测电路、晶振片并联电容补偿电路以及晶振片并联电容补偿状态指示电路;所述晶振片并联电容补偿电路及所述晶振片并联电容补偿状态指示电路组成的一个闭环反馈系统。
  • 一种弱耦合谐振式传感器的扰动位置确定方法-201710580165.4
  • 常洪龙;张和民;康昊;杨晶;钟纪明 - 西北工业大学
  • 2017-07-17 - 2019-09-24 - G01G3/16
  • 本发明涉及一种基于模态局部化的多自由度弱耦合传感器的扰动定位方法,属于微机电系统(MEMS)领域。该方法利用多自由度弱耦合谐振器系统的反谐振点来设计一种质量传感器,两个耦合悬臂梁谐振器构成一个耦合谐振器系统,通过动态信号分析仪来分析两个悬臂梁谐振器的幅频响应曲线以观测其反谐振点变化,当谐振器2的反谐振频率发生变化的时候,我们可以判定谐振器1受到了质量扰动,当谐振器1的反谐振频率发生变化的时候,我们可以判定谐振器2受到了质量扰动,反谐振频率与质量干扰之间是一种线性关系,因此也可以通过反谐振频率的变化量来判定质量干扰的大小。
  • 基于STM32的8通道QCM测试系统-201711115787.6
  • 孙萍;晏明国;陈昱润;冯兴;张宇 - 成都信息工程大学;四川农业大学
  • 2017-11-13 - 2019-07-23 - G01G3/16
  • 本发明公开一种基于STM32的8通道QCM测试系统,包括:QCM传感器组,用于浸入待测物体中,将待测信息转换为频率信号;控制器,连接所述QCM传感器组,用于切换QCM传感器组的通道,选择其中一条通道作为测试通道,比较出所述测试通道和对比通道的差值;频率计数器,连接所述控制器,用于获取所述控制器输出的频率。本发明克服现有技术中由于测试对象只有QCM本身,不能提供对比组,无法同步测试外在温度和湿度的缺陷,提高测试全面化,智能化程度。
  • 一种微质量传感器的非接触式EMAT检测方法及其系统-201811114399.0
  • 付琛;范晓明;黄锐;吴永桢;罗景庭;戴宏飞 - 深圳大学
  • 2018-09-25 - 2019-07-23 - G01G3/16
  • 本发明提供了一种微质量传感器的非接触式EMAT检测方法及其系统,通过磁铁产生静电磁场,在激励线圈中通入正弦交变电流,谐振片置于激励线圈上方,当激励线圈的频率与谐振片的固有频率相同时产生谐振,从而感应出二次交变磁场,在差分检测线圈中产生感应电流;当微量待测物质吸附在谐振片上表面覆盖的敏感薄层上时,谐振片的谐振频率漂移,通过计算谐振频率的漂移量来对待测物质进行定量测量。本发明通过引入EMAT,利用电磁感应来激励和检测声波振动,实现非接触式方案,用简单结构来替代微悬臂梁等复杂结构,通过不同模式之间相对频率差来取代绝对频移,减小外界环境引起的扰动,实现了微质量物质的高精度测量。
  • 一种基于石英晶体微天平的晶片装夹装置-201610803071.4
  • 董瑛;张旭东;王晓浩 - 清华大学深圳研究生院
  • 2016-09-05 - 2019-04-16 - G01G3/16
  • 本发明公开了一种基于石英晶体微天平的晶片装夹装置,涉及石英晶体微天平装夹技术领域,包括底座和凸设于所述底座上的凸台,所述凸台上设有装夹组件,所述装夹组件包括开设于所述凸台上的固定槽,和立式设置于所述凸台上的定位台,以及倾斜设于所述凸台上的弹性探针,所述定位台的顶端设有开口,通过所述固定槽的固定作用、定位台的立式定位作用和弹性探针的夹紧作用实现装夹。本发明通过立式设置石英晶片,结合定位台、固定槽及倾斜设置的弹性探针,使得石英晶片的装夹、拆卸更为便捷,装夹的结构更为简单,避免过多的结构改变对检测环境的影响。
  • 一种乙烯-乙烯醇共聚物石英晶体芯片的制备方法-201610838401.3
  • 苗瑞;王磊;邓东旭;王佳璇;吕永涛;朱苗;刘婷婷;王旭东 - 西安建筑科技大学
  • 2016-09-21 - 2019-01-22 - G01G3/16
  • 本发明公开了一种乙烯‑乙烯醇共聚物石英晶体芯片的制备方法,包括:1)使用紫外灯照射结合十二烷基硫酸钠溶液对二氧化硅基片进行预处理;2)将乙烯‑乙烯醇共聚物与有机溶剂按一定比例共混溶解,配置均质乙烯‑乙烯醇共聚物溶液;3)通过离心旋转结合相分离技术将所得乙烯‑乙烯醇共聚物溶液均匀涂覆于二氧化硅基片表面,之后将其置于真空恒温环境中进行热处理,即可获得乙烯‑乙烯醇共聚物石英晶体芯片;4)最后通过简单的物化方法实现二氧化硅基片的多次循环使用。该方法操作简单,实用性强,成功率高,实现了二氧化硅基片表面纳米级厚度乙烯‑乙烯醇共聚物的涂覆,获得了性能稳定的乙烯‑乙烯醇共聚物石英晶体芯片。
  • 一种竖轴式石英结冰测量装置-201820865335.3
  • 张阿宁;高新明;张滨华 - 张阿宁
  • 2018-05-30 - 2018-12-18 - G01G3/16
  • 本实用新型及一种竖轴式石英结冰测量装置,包括:结冰称重杆、结冰隔离环、结冰测量装置外壳、弹性元件和石英传感器,弹性元件内设置有石英传感器,弹性元件外设置有结冰测量装置外壳,并且结冰测量装置外壳的开口端与弹性元件底部相连,结冰测量装置外壳顶部中心位置设置过孔,结冰称重杆一端穿过结冰测量装置外壳上的过孔垂直设置在弹性元件上端面,结冰称重杆上套有结冰隔离环。本实用新型采用了特殊的弹性结构设计,具有抗横向过载能力,解决了侧向风的影响,本实用新型采用的石英谐振梁,具有极高的机械品质因数Q,其特性稳定保证了装置具有极高的测试精度。
  • 一种微小质量称重装置-201820859457.1
  • 王永志;刘博;李钰 - 吉林大学
  • 2018-06-05 - 2018-12-04 - G01G3/16
  • 本实用新型涉及测量仪器,具体地来讲为一种微小质量称重装置,该装置包括:基座,用于支撑;支撑柱,竖直与基座固定连接;压力传感器,连接在支撑柱上与支撑柱垂直设置,包括悬臂梁以及设置在悬臂梁上的PVDF压电薄膜,所述PVDF压电薄膜的长度小于悬臂梁长度;控制器,与压力传感器的输出端连接后,用于接收压力传感器的信号。本实用新型具有灵敏度高、精确,以及稳定性高。
专利分类
×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top