[发明专利]一种镜面MEMS扭转测量系统及方法在审
| 申请号： | 202310660430.5 | 申请日： | 2023-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN116907335A | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 陈振凯;陈帅兵;周文静;于瀛洁 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/16;G01B11/02 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 蔡彭君 |
| 地址： | 200444*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种镜面MEMS扭转测量系统及方法，其中系统包括激光器、分光镜、镜面MEMS样本、电压输入装置、平面镜、图像接收系统和计算机；方法包括以下步骤：系统搭建与图像采集：搭建镜面MEMS扭转测量系统和迈克尔逊干涉光路，采集未通电状态及不同输入电压的通电状态下的全息图；傅里叶原位频谱跟踪，更新频谱图；相位相减及制作掩膜，获取各个输入电压下的转动相位变化；MEMS扭转量标定：基于电压与转动相位变化之间的关系，构建输入电压与镜面扭转量标定表，实现MEMS扭转测量。与现有技术相比，本发明具有结构简单、操作性强，可实现镜面物体的全息实时自动化运算等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 扭转 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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