[发明专利]一种AlN/HfO2 在审
| 申请号： | 202310630017.4 | 申请日： | 2023-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN116646034A | 公开（公告）日： | 2023-08-25 |
| 发明（设计）人： | 余念念;叶锋宇;汪礼胜;王嘉赋 | 申请（专利权）人： | 武汉理工大学 |
| 主分类号： | G16C60/00 | 分类号： | G16C60/00;H01L29/792;H10B43/30;G16C20/00 |
| 代理公司： | 武汉智嘉联合知识产权代理事务所(普通合伙) 42231 | 代理人： | 李锡义 |
| 地址： | 430070 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种AlN/HfO |
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| 搜索关键词： | 一种 aln hfo base sub | ||
【主权项】：
暂无信息
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