[发明专利]一种碳化硅外延生长用石墨部件及其复合涂层制备工艺在审
| 申请号： | 202310629660.5 | 申请日： | 2023-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN116730744A | 公开（公告）日： | 2023-09-12 |
| 发明（设计）人： | 姜佑霖;马良来 | 申请（专利权）人： | 昊石新材料科技南通有限公司 |
| 主分类号： | C04B41/85 | 分类号： | C04B41/85;C30B19/06 |
| 代理公司： | 北京智行阳光知识产权代理事务所(普通合伙) 11738 | 代理人： | 章建声 |
| 地址： | 226300 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及碳化硅的外延生长技术领域，具体涉及一种碳化硅外延生长用石墨部件及其复合涂层制备工艺，包括以下步骤：首先，将石墨部件按照质量比例5％‑10％在高纯度氮气环境中进行预热处理；其次，将经过预热处理的石墨部件涂覆以涂层原料，涂层原料包括质量比例30％‑40％的碳纳米管、20％‑30％的石墨烯、10％‑20％的纳米碳化硅以及20％‑30％的高分子结合剂；最后，将涂覆后的石墨部件在氮气环境中进行热处理，得到复合涂层。本发明，能够实现石墨部件与复合涂层的高效结合，延长了石墨部件的使用寿命，操作简单，效率高，易于实现工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 外延 生长 石墨 部件 及其 复合 涂层 制备 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
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