[发明专利]切割倒模压力加热装置在审
| 申请号： | 202310553353.3 | 申请日： | 2023-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN116533399A | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 殷志鹏;殷泽楠 | 申请（专利权）人： | 东莞市译码半导体有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D5/00;H01L21/67;H01L21/78 |
| 代理公司： | 北京鹏帆慧博知识产权代理有限公司 11903 | 代理人： | 祝辽原 |
| 地址： | 523000 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种切割倒模压力加热装置，包括机架，所述机架的侧部设有调节机构，所述调节机构上设有转移机构，所述机架的前端设有切割台，所述切割台的上方通过驱动机构连接有切割机，所述切割台的后方设有固定台，所述固定台的上方设有倒模机构；将晶圆切割和倒模工序集成于同一装置中，有效降低了装置的占地面积，同时还能减少人工操作，在节省人力的同时避免了人工造成的晶圆损坏的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 切割 模压 加热 装置 | ||
【主权项】：
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