[发明专利]提高ECR离子源性能的微波耦合调节装置在审
| 申请号： | 202310551347.4 | 申请日： | 2023-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN116613051A | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 孙良亭;张雪珍;王鑫宇;李吉波;赵红卫 | 申请（专利权）人： | 中国科学院近代物理研究所 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 谢斌 |
| 地址： | 730013 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开一种提高ECR离子源性能的微波耦合调节装置，涉及高功率微波与等离子体的耦合调节装置技术领域，且包括：波导管装置，内形成有波导通孔，波导管装置两端分别为输入端和辐射端，输入端适于与连通至ECR离子源的微波输入导管相连通，辐射端被配置为非对称切口结构而将自ECR离子源输至波导通孔的微波以预设角度馈入到ECR等离子体内，且辐射端适于相对于ECR等离子体移动而调节微波馈入位置。在本发明中，波导管装置能够直接馈入微波至ECR等离子体，辐射端为非对称切口结构可实现微波功率沿特定方向、以特定角度辐射出来，辐射端移动能够调节微波馈入位置，从而能够提高微波与ECR等离子体的耦合效率，并且提高ECR离子源性能。 | ||
| 搜索关键词： | 提高 ecr 离子源 性能 微波 耦合 调节 装置 | ||
【主权项】：
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