[发明专利]提高ECR离子源性能的微波耦合调节装置

权利要求书

1.一种提高ECR离子源性能的微波耦合调节装置，其特征在于，包括：

波导管装置，内形成有波导通孔，所述波导管装置两端分别为输入端和辐射端，所述输入端适于与连通至ECR离子源的微波输入导管相连通，所述辐射端被配置为非对称切口结构而将自所述ECR离子源输至所述波导通孔的微波以预设角度馈入到ECR等离子体内，且所述辐射端适于相对于ECR等离子体移动而调节微波馈入位置。

2.根据权利要求1所述的提高ECR离子源性能的微波耦合调节装置，其特征在于，

所述非对称切口结构设置为斜切口结构，所述斜切口结构的斜切面相对于所述波导管装置的延伸方向倾斜，且所述斜切面的倾斜角度及尺寸根据ECR离子源运行微波参数和波导管尺寸参数确定；或者

所述非对称切口结构设置为阶梯结构，所述阶梯结构的端口面包括平行于所述波导管装置延伸方向的平行平面，所述平行平面的长度根据ECR离子源运行微波参数和波导管尺寸参数确定。

3.根据权利要求1所述的提高ECR离子源性能的微波耦合调节装置，其特征在于，

所述波导管装置包括相连通形成所述波导通孔的可移动波导管及波导管公共件，所述波导管公共件的后端设为所述输入端，所述可移动波导管的前端设为所述辐射端、后端可滑动套接或插接于所述波导管公共件的前端，所述可移动波导管被配置为沿长度方向滑动而调节所述辐射端的位置。

4.根据权利要求3所述的提高ECR离子源性能的微波耦合调节装置，其特征在于，

所述可移动波导管采用变内径结构，以减少所述波导管公共件外周面与所述可移动波导管内壁面的接触面积；和/或

对所述波导管公共件及所述可移动波导管进行表面电镀处理工艺；和/或

在所述波导管公共件与所述可移动波导管的接触间隙中使用固体润滑，选用润滑用固体颗粒材料填充于所述波导管公共件与所述可移动波导管的接触间隙中，降低两者相对滑动的阻力。

5.根据权利要求3所述的提高ECR离子源性能的微波耦合调节装置，其特征在于，

所述提高ECR离子源性能的微波耦合调节装置还包括：

连接装置，一端与所述可移动波导管连接；

移动导入装置，设于ECR离子源放电腔室外部空间且驱动连接所述连接装置另一端，移动导入装置被配置为在ECR离子源放电腔室外部空间运行以驱动所述连接装置移动而带动所述可移动波导管滑动。

6.根据权利要求5所述的提高ECR离子源性能的微波耦合调节装置，其特征在于，

所述移动导入装置包括直线导入器及转轮，所述直线导入器设有可伸缩的导入棒，所述导入棒显露于所述直线导入器的前端以驱动所述连接装置，所述直线导入器的后端设置所述转轮，通过手动或电机转动所述转轮而控制所述导入棒沿直线方向伸缩。

7.根据权利要求6所述的提高ECR离子源性能的微波耦合调节装置，其特征在于，

所述连接装置包括驱动杆及桥接件，所述驱动杆的后端通过无磁弹性联轴器与所述导入棒连接、前端通过所述桥接件与所述可移动波导管连接；

所述驱动杆、所述可移动波导管及所述波导管公共件三者的长度方向与所述导入棒伸缩方向一致，所述桥接件延伸方向与所述导入棒伸缩方向垂直。

8.根据权利要求7所述的提高ECR离子源性能的微波耦合调节装置，其特征在于，

所述桥接件包括连接所述可移动波导管的第一端、及连接所述驱动杆的第二端，所述第一端沿所述可移动波导管周向延伸，所述第一端设有多个丝孔以连接所述可移动波导管外周面，且所述第一端的端面切削处理以使端面曲率与所述可移动波导管外径曲率相同，确保所述第一端与所述可移动波导管外壁紧密贴合；

所述第二端的宽度与所述驱动杆前端端面的宽度相适配，所述第二端设有多个丝孔以紧密连接所述驱动杆的前端端面。