[发明专利]一种强流脉冲电子束增强HEA过渡层及其HECs/ta-C复合多层结构制备方法在审
| 申请号： | 202310431049.1 | 申请日： | 2023-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN116497328A | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 马震宇;娄陈旭坤;施仙庆;周潜;赵文轩;徐锋;左敦稳 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/32;C23C14/14;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 瞿网兰 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种强流脉冲电子束增强HEA过渡层及其HECs/ta‑C复合多层结构制备方法，它通过高熵合金（HEA）过渡层、HEA过渡层表面强化和HECs/ta‑C多层交替生长形成HEA/(HECs/ta‑C)n复合涂层。其制备方法包括：（1）衬底预处理、Ar离子清洗和靶材预溅射；（2）采用磁控溅射法制备HEA过渡层AlTiVCrZr；（3）HCPEB法强化过渡层；（4）采用磁控溅射法在强化后的AlTiVCrZr过渡层上沉积(AlTiVCrZr)C层；（5）采用过滤阴极真空电弧法在(AlTiVCrZr)C层上进一步沉积ta‑C；（6）重复（4）和（5）的操作得到(AlTiVCrZr)C/ta‑C多层交替的涂层。本发明的HECs/ta‑C复合多层增韧耐磨蚀涂层具有高硬度、强韧性和优异的耐磨蚀性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 脉冲 电子束 增强 hea 过渡 及其 hecs ta 复合 多层 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
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