[发明专利]一种MEMS开关和神经网络在审
| 申请号： | 202310421170.6 | 申请日： | 2023-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN116281834A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 余志伟 | 申请（专利权）人： | 山东云海国创云计算装备产业创新中心有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B3/00;G06N3/063 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 刘小峰;陈黎明 |
| 地址： | 250000 山东省济南市中国（山东）自由贸*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及微机电系统领域，尤其涉及一种MEMS开关和神经网络。所述MEMS开关包括：第一基底和第二基底键合形成闭合腔体且二者之间设置有第一绝缘层；电极组件设置在闭合腔体内，固定在第一绝缘层上；弹性金属悬臂设置在闭合腔体内，一端固定另一端为自由端，且自由端与电极组件之间存在间距；工作栅极设置在闭合腔体内，固定在第一绝缘层上，当向工作栅极施加电压时自由端的至少一部分或全部被拉至与电极组件吸合；复位栅极设置在闭合腔体内，固定在第二基底朝向第一基底的面上且二者之间设置有第二绝缘层，当向复位栅极施加电压时弹性金属悬臂被拉至与电极组件分离。本发明的方案实现对MEMS开关电导值的可控设置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 开关 神经网络 | ||
【主权项】：
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