[发明专利]一种基于系统识别法的MEMS器件宏模型建模方法有效
| 申请号： | 202310402932.8 | 申请日： | 2023-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN116127887B | 公开（公告）日： | 2023-07-07 |
| 发明（设计）人： | 周再发;王九州;徐昊;黄庆安 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G06F30/3308 | 分类号： | G06F30/3308;G06F30/3323;G06F30/23 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 吴旭 |
| 地址： | 211102 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种基于系统识别法的MEMS器件宏模型建模方法，将MEMS器件的线性物理过程和非线性物理过程分离，通过对MEMS器件线性物理过程进行系统识别，建立MEMS器件线性时不变传递函数模型。再将MEMS器件非线性物理过程通过硬件描述语言耦合到传递函数模型中，实现整个MEMS器件物理过程宏模型建模。最后，将硬件描述语言封装的完整MEMS器件宏模型，导入到IC仿真工具中进行系统级的协同仿真。本发明以MEMS电容式加速度计宏模型建模过程为例，介绍基于系统识别法的MEMS器件宏模型建模方法，其他类型器件也可进行相同的分析与建模。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 系统 识别 mems 器件 模型 建模 方法 | ||
【主权项】：
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