[发明专利]硅片智能长寿命输送装置

摘要

本发明公开了硅片智能长寿命输送装置，关于硅片输送技术领域，输送装置包括传送台和机架，传送台设置在机架的上端，机架内设置有电机，传送台和机架之间设置有传送带，传送带分别连接传送台和电机，输送装置还包括连接圈，传送带套接在连接圈上，连接圈套接在电机上，电机和连接圈之间设置有连接机构，连接圈的内壁上设置有与连接机构相匹配的，连接机构滑动连接在电机上，连接机构能够对连接圈进行锁止。与现有技术相比，根据本发明的硅片智能长寿命输送装置具有以下优点：电机能够长时间不停止运行，通过连接机构连接连接圈或脱离连接圈，连接机构带动连接圈转动，从而避免频繁启停对电机造成损坏的情况，增加了电机的使用寿命。