[发明专利]一种用于纳米团簇束流综合沉积的取样腔在审
| 申请号： | 202310387999.9 | 申请日： | 2023-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN116288164A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 刘风光;张悦;王传杰;付晨;赵巍胜 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学合肥创新研究院（北京航空航天大学合肥研究生院） |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/56;C23C14/50;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 合肥律众知识产权代理有限公司 34147 | 代理人： | 赵玉琴 |
| 地址： | 230000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于纳米团簇束流综合沉积的取样腔，包括设有取样门和连接口的取样腔本体，所述取样腔本体上设置有由取样腔本体外伸入取样腔本体内的传样机构，所述取样腔本体内设置有用于放置样品的两个载样件、用驱动载样将沿靠近或远离取样门方向运动的驱动机构，以及用于驱动两个载样件位置互换的换位机构。本申请提供的一种用于纳米团簇束流综合沉积的取样腔，取样和放样方便，可进行批量化放样和取样，无需每次覆膜完都要打开取样门取样。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 纳米 团簇束流 综合 沉积 取样 | ||
【主权项】：
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