[发明专利]一种用于纳米团簇束流综合沉积的取样腔

权利要求书

1.一种用于纳米团簇束流综合沉积的取样腔，其特征在于：包括设有取样门和连接口的取样腔本体，所述取样腔本体上设置有由取样腔本体外伸入取样腔本体内的传样机构，所述取样腔本体内设置有用于放置样品的两个载样件、用驱动载样将沿靠近或远离取样门方向运动的驱动机构，以及用于驱动两个载样件位置互换的换位机构；

所述传样机构包括可伸缩的传样杆和设置在传样杆端部的夹取件，所述夹取件朝向连接口；两所述传样件并排设置且通过去驱动机构同步运动，所述驱动机构固定在所述换位机构上。

2.根据权利要求1所述的一种用于纳米团簇束流综合沉积的取样腔，其特征在于：所述载样件包括载样槽、设置在载样槽内将载样槽隔成若干个支撑槽的隔板、活动设置在放置区域内的用于放置样品的支撑槽，以及与支撑槽底部固定的用于将支撑槽从放置区域顶出的顶升件，所述顶升件个数与支撑槽个数相同且一一对应。

3.根据权利要求2所述的一种用于纳米团簇束流综合沉积的取样腔，其特征在于：所述载样槽底部设置有安装腔，顶升件包括设置在安装腔内的顶升气缸，所述顶升气缸的最大顶升高度与夹取件的夹取夹取高度相适应。

4.根据权利要求2所述的一种用于纳米团簇束流综合沉积的取样腔，其特征在于：所述载样槽两侧相对设置有两限位槽。

5.根据权利要求2所述的一种用于纳米团簇束流综合沉积的取样腔，其特征在于：所述驱动机构包括一电动滑轨，所述安装腔通过滑块与电动滑轨滑动固定。

6.根据权利要求1所述的一种用于纳米团簇束流综合沉积的取样腔，其特征在于：所述换位机构包括与滑轨固定的从动轮、与从动轮啮合的主动轮和用于驱动主动轮转动的驱动电机。

7.根据权利要求1所述的一种用于纳米团簇束流综合沉积的取样腔，其特征在于：所述夹取件包括与传样杆位于取样腔本体内部一端固定且对称设置的微型气缸和固定在微型气缸的气缸推杆上的夹持板，两所述微型气缸上的夹持板相对设置。

8.根据权利要求1所述的一种用于纳米团簇束流综合沉积的取样腔，其特征在于：所述取样腔本体上方设置有透明观察口。