[发明专利]一种具有双加载互锁模块的多离子源植入系统及植入方法在审
| 申请号： | 202310375253.6 | 申请日： | 2023-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN116246922A | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 陈维 | 申请（专利权）人： | 浙江鑫钰新材料有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/20;H01J37/18;H01J37/317;H01J37/302;H01J37/244;H01J37/09;H01L21/77 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 311599 浙江省杭州市桐庐县桐庐经济*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有双加载互锁模块的多离子源植入系统及植入方法，其中系统包括有依次相连接的离子束形成模块、植入模块、加载互锁模块和大气传输模块；离子束形成模块和植入模块之间设置有可控制开启和密封关闭的植入门阀，在离子束形成模块靠近植入门阀的位置设置有束流检测装置；加载互锁模块包括有并排设置的第一加载互锁模块和第二加载互锁模块，第一加载互锁模块和第二加载互锁模块用于交替进行平板玻璃的上载和下载工作。本方案在实现超大面积平板玻璃的离子植入的同时，进一步保证了进行植入的离子束品质，并提高了工艺处理效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 加载 互锁 模块 离子源 植入 系统 方法 | ||
【主权项】：
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