[发明专利]一种单晶炉及单晶炉用热场在审
申请号: | 202310374884.6 | 申请日: | 2023-04-10 |
公开(公告)号: | CN116427027A | 公开(公告)日: | 2023-07-14 |
发明(设计)人: | 闫洪嘉;李安君;许堃 | 申请(专利权)人: | 云南宇泽半导体有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B15/14;C30B15/00 |
代理公司: | 云南恒于知行知识产权代理有限公司 53225 | 代理人: | 李宁 |
地址: | 675000 云南省楚雄彝*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | 本发明公开了一种单晶炉及单晶炉用热场,涉及单晶炉技术领域。该单晶炉及单晶炉用热场,包括固定台,所述固定台的上侧固定连接有下炉筒,所述下炉筒的上侧放置有炉盖,所述炉盖的上侧中部开孔,所述炉盖的上侧固定连接有副室筒,所述副室筒的下端通过炉盖上的孔与炉盖的下侧连通,所述副室筒的外壁固定连接有连接架,所述副室筒的上侧固定连接有安装台,所述安装台的上侧固定连接有支架,所述支架的上侧固定连接有卷扬机,所述卷扬机的外壁上侧固定连接有连接杆。该单晶炉及单晶炉用热场,通过设置有防掉落机构可保障在限位环断裂时避免出现晶棒掉落造成的断晶问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 单晶炉用热场 | ||
【主权项】:
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