[发明专利]平面背栅电子管和集成电路及其制作方法在审
| 申请号： | 202310367104.5 | 申请日： | 2023-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN116646397A | 公开（公告）日： | 2023-08-25 |
| 发明（设计）人： | 王跃林;叶秋枫 | 申请（专利权）人： | 绍兴文理学院 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L21/336;H01L29/06;H01L29/417;H01L29/423;H01L27/088 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 杨怡清 |
| 地址： | 312000 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种平面背栅电子管，包括自下而上依次堆叠而形成隔离岛的背栅层、背栅绝缘层和下阴极层；隔离岛上设有栅极、阴极和阳极，栅极贯穿背栅绝缘层来与背栅层电接触；阴极与下阴极层电接触，且阳极与下阴极层通过空气层间隔开。本发明还提供相应的集成电路和制作方法。本发明的平面背栅电子管通过调节栅极电压可以改变阴极的电子浓度，从而调控阴极的场发射电流，达到栅调控阳极电流的目的，实现放大功能。由于该结构的栅极可以以较低的电压调控阴极电子的浓度，达到以较低的电压高效调制阳极电流的目的，因此，有较大的跨导。此外，栅极与阴极之间有绝缘层，与阳极之间设有绝缘层和空气层，因此栅极电流几乎为零，可以避免漏电。 | ||
| 搜索关键词： | 平面 电子管 集成电路 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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