[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法和有机发光显示面板在审
| 申请号： | 202310365483.4 | 申请日： | 2023-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN116377394A | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 董晴晴;范刘静 | 申请（专利权）人： | 上海天马微电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;H10K59/12;H10K71/16 |
| 代理公司： | 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 | 代理人： | 于淼 |
| 地址： | 201201 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及显示技术领域，公开了一种蒸镀装置、蒸镀方法和有机发光显示面板，蒸镀装置包括：蒸镀腔、以及位于蒸镀腔内的对位机构、待蒸镀基板、掩膜板、挡板和蒸镀源；待蒸镀基板和掩膜板相对设置，且待蒸镀基板和掩膜板固定于对位机构靠近蒸镀源的一侧，掩膜板位于待蒸镀基板靠近蒸镀源的一侧，对位机构同时带动待蒸镀基板和掩膜板移动；挡板位于掩膜板和蒸镀源之间，挡板包括开口，沿垂直于待蒸镀基板所在平面的方向，蒸镀源与开口至少部分交叠。本发明有利于减小蒸镀腔的体积，减少生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 有机 发光 显示 面板 | ||
【主权项】：
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