[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法和有机发光显示面板

权利要求书

1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：蒸镀腔、以及位于所述蒸镀腔内的对位机构、待蒸镀基板、掩膜板、挡板和蒸镀源；

所述待蒸镀基板和所述掩膜板相对设置，且所述待蒸镀基板和所述掩膜板固定于所述对位机构靠近所述蒸镀源的一侧，所述掩膜板位于所述待蒸镀基板靠近所述蒸镀源的一侧，所述对位机构同时带动所述待蒸镀基板和所述掩膜板移动；

所述挡板位于所述掩膜板和所述蒸镀源之间，所述挡板包括开口，沿垂直于所述待蒸镀基板所在平面的方向，所述蒸镀源与所述开口至少部分交叠。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述对位机构包括第一固定板、与所述第一固定板相连接的基板固定平台和掩膜板固定平台，所述待蒸镀基板位于所述第一固定板和所述基板固定平台之间，所述掩膜板位于所述待蒸镀基板和所述掩膜板固定平台之间；

所述基板固定平台包括第一镂空部，所述第一镂空部暴露所述待蒸镀基板的待蒸镀区域；

所述掩膜板固定平台包括第二镂空部，所述第二镂空部暴露所述掩膜板的待蒸镀区域。

3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述对位机构还包括整平板，所述整平板位于所述第一固定板和所述待蒸镀基板之间。

4.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述蒸镀装置还包括滑轨，所述对位机构还包括滑轮，所述滑轮与所述滑轨滑动连接。

5.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述挡板包括沿第一方向排列的第一子部和第二子部，所述开口位于所述第一子部和所述第二子部之间，其中，所述第一方向与所述待蒸镀基板所在平面相平行；

所述蒸镀腔包括沿所述第一方向排列的第一子区、第二子区和蒸镀区，所述蒸镀区位于所述第一子区和所述第二子区之间，所述第一子部位于所述第一子区，所述第二子部位于所述第二子区，所述开口位于所述蒸镀区；

所述对位机构沿所述第一方向由所述第一子区经所述蒸镀区移动至所述第二子区。

6.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述对位机构位于所述第一子区时，所述第一子部在所述待蒸镀基板所在平面的垂直投影覆盖所述待蒸镀基板；

所述对位机构位于所述第二子区时，所述第二子部在所述待蒸镀基板所在平面的垂直投影覆盖所述待蒸镀基板。

7.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，

沿所述第一方向，所述开口的宽度为S1，S1的范围为100-300mm。

8.根据权利要求7所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述蒸镀源位于所述蒸镀区；

沿垂直于所述待蒸镀基板所在平面的方向上，所述蒸镀源和所述挡板之间的间距为H1，其中，

9.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述蒸镀源包括第一坩埚和与所述第一坩埚相连接的多个蒸镀喷嘴，所述蒸镀喷嘴位于所述第一坩埚朝向所述挡板的一侧。

10.一种蒸镀方法，其特征在于，采用权利要求1-9任一项所述的蒸镀装置进行蒸镀；

所述蒸镀方法包括：

采用所述对位机构同时带动所述待蒸镀基板和所述掩膜板移动；

所述蒸镀源透过所述开口对所述待蒸镀基板进行蒸镀。

11.一种有机发光显示面板，其特征在于，采用权利要求10所述的蒸镀方法形成。