[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法和有机发光显示面板

说明书

本发明涉及显示技术领域，公开了一种蒸镀装置、蒸镀方法和有机发光显示面板，蒸镀装置包括：蒸镀腔、以及位于蒸镀腔内的对位机构、待蒸镀基板、掩膜板、挡板和蒸镀源；待蒸镀基板和掩膜板相对设置，且待蒸镀基板和掩膜板固定于对位机构靠近蒸镀源的一侧，掩膜板位于待蒸镀基板靠近蒸镀源的一侧，对位机构同时带动待蒸镀基板和掩膜板移动；挡板位于掩膜板和蒸镀源之间，挡板包括开口，沿垂直于待蒸镀基板所在平面的方向，蒸镀源与开口至少部分交叠。本发明有利于减小蒸镀腔的体积，减少生产成本。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，更具体地，涉及一种蒸镀装置、蒸镀方法和有机发光显示面板。

背景技术

随着显示行业技术的发展，OLED以可柔性，主动发光，大视角，色纯度高，反应速度快等优势逐渐占领市场。行业内普遍使用物理气相沉积(physical vapor deposition，PVD)，即蒸镀法，来制备OLED器件的膜层；但是随着市场的对中大尺寸要求提升，蒸镀基板的尺寸逐渐变大；相应地，蒸镀腔体也随之变大，从而造成生产成本的增加。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种蒸镀装置、蒸镀方法和有机发光显示面板，有利于减小蒸镀腔的体积，减少生产成本。

本发明提供一种蒸镀装置，包括：蒸镀腔、以及位于蒸镀腔内的对位机构、待蒸镀基板、掩膜板、挡板和蒸镀源；待蒸镀基板和掩膜板相对设置，且待蒸镀基板和掩膜板固定于对位机构靠近蒸镀源的一侧，掩膜板位于待蒸镀基板靠近蒸镀源的一侧，对位机构同时带动待蒸镀基板和掩膜板移动；挡板位于掩膜板和蒸镀源之间，挡板包括开口，沿垂直于待蒸镀基板所在平面的方向，蒸镀源与开口至少部分交叠。

基于同一思想，本发明还提供了一种蒸镀方法，采用本发明提供的蒸镀装置进行蒸镀；蒸镀方法包括：采用对位机构同时带动待蒸镀基板和掩膜板移动；蒸镀源透过开口对待蒸镀基板进行蒸镀。

基于同一思想，本发明还提供了一种有机发光显示面板，采用本发明提供的蒸镀方法形成。

与现有技术相比，本发明提供的蒸镀装置、蒸镀方法和有机发光显示面板，至少实现了如下的有益效果：

本发明提供的蒸镀装置中，蒸镀腔内，待蒸镀基板和掩膜板固定于对位机构靠近蒸镀源的一侧，对位机构同时带动待蒸镀基板和掩膜板移动，蒸镀源不移动。在对位机构同时带动待蒸镀基板和掩膜板移动时，蒸汽状态的待蒸镀材料可以通过挡板的开口穿过掩膜板中镂空的图形到达待蒸镀基板上，进而在待蒸镀基板上形成有图形的膜层，即蒸镀源透过开口对待蒸镀基板进行蒸镀。由于在蒸镀过程中，对位机构同时带动待蒸镀基板和掩膜板移动，从而挡板中开口可设置较小。为了能够实现较好的蒸镀效果，挡板的开口的面积越大，沿垂直于待蒸镀基板所在平面的方向上，蒸镀源和挡板之间的间距需设置越大。相应的，挡板中开口沿第一方向的宽度越小，沿垂直于待蒸镀基板所在平面的方向上，蒸镀源和挡板之间的间距也可以设置较小，从而有利于减小沿垂直于待蒸镀基板所在平面的方向上，蒸镀源和挡板之间的设置间距，从而有利于减小蒸镀腔沿垂直于待蒸镀基板所在平面的方向上的高度，从而有利于减小蒸镀腔的体积，从而有利于减小制作成本，避免蒸镀材料的浪费，且有利于减小蒸镀装置的占用空间，从而减小对用于放置蒸镀装置的空间的体积要求。

且在蒸镀腔内设置有多个蒸镀区域时，对位机构同时带动待蒸镀基板和掩膜板在不同蒸镀区域之间移动，待蒸镀基板和掩膜板仅需进行一次对位即可，有效减少待蒸镀基板和掩膜板的对位次数，有效提高蒸镀良率。

当然，实施本发明的任一产品不必特定需要同时达到以上所述的所有技术效果。

通过以下参照附图对本发明的示例性实施例的详细描述，本发明的其它特征及其优点将会变得清楚。

附图说明

被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本发明的实施例，并且连同其说明一起用于解释本发明的原理。

图1是现有技术中一种蒸镀装置的结构示意图；