[发明专利]一种多光学腔体的光学微机电结构在审
| 申请号： | 202310362562.X | 申请日： | 2023-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN116281832A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 王晨璐;张洪波;任恒江;罗杰 | 申请（专利权）人： | 意子科技私人投资有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟;郭婧婧 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多光学腔体的光学微机电结构，该光学微机电结构包括悬置波导、悬置支撑梁、光学腔体组及悬置检测质量块，其中，悬置支撑梁位于悬置波导的Y方向一侧并与悬置波导间隔设置，光学腔体组位于悬置支撑梁远离悬置波导的一侧，光学腔体组包括在X方向上依次排列且间隔设置的多个光学腔体，其中，任意两个光学腔体具有不同的共振波长；悬置检测质量块位于所述光学腔体组远离所述悬置支撑梁的一侧。本发明的多光学腔体的光学微机电结构采用多个具有不同共振波长的光学腔体，可以将输入激光束引导到具有与输入激光波长最接近的共振波长的光学腔体中，减少输入激光和光学腔体之间的波长不匹配，并实现更高的耦合效率和更好的传感性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 微机 结构 | ||
【主权项】：
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