[发明专利]一种多光学腔体的光学微机电结构

权利要求书

1.一种多光学腔体的光学微机电结构，其特征在于，包括：

悬置波导；

悬置支撑梁，位于所述悬置波导的Y方向一侧并与所述悬置波导间隔设置；

光学腔体组，位于所述悬置支撑梁远离所述悬置波导的一侧，所述光学腔体组包括在X方向上依次排列且间隔设置的多个光学腔体，其中，任意两个所述光学腔体具有不同的共振波长；

悬置检测质量块，位于所述光学腔体组远离所述悬置支撑梁的一侧。

2.根据权利要求1所述的多光学腔体的光学微机电结构，其特征在于：假设以共振波长值从低到高的顺序排列，则任意相邻两个所述光学腔体的共振波长差值范围是10纳米-100纳米。

3.根据权利要求1所述的多光学腔体的光学微机电结构，其特征在于：所述光学腔体包括在Y方向上间隔设置的第一悬置光子晶体与第二悬置光子晶体，所述第一悬置光子晶体固定于所述悬置支撑梁，所述第二悬置光子晶体固定于悬置检测质量块。

4.根据权利要求3所述的多光学腔体的光学微机电结构，其特征在于：所述悬置检测质量块包括在X方向上依次排列且间隔设置的多个质量相同的质量块单元，所述质量块单元的数量与所述光学腔体的数量相同且一一对应，每一所述光学腔体的所述第二悬置光子晶体固定于一所述质量块单元。

5.根据权利要求4所述的多光学腔体的光学微机电结构，其特征在于：相邻两个所述质量块单元之间设有锚块，相邻两个所述质量块单元的相向两端分别通过悬置系绳与所述锚块连接。

6.根据权利要求3所述的多光学腔体的光学微机电结构，其特征在于：所述悬置检测质量块呈沿X方向连续延伸的长条形块体，所有所述光学腔体的所述第二悬置光子晶体均固定于所述悬置检测质量块。

7.根据权利要求1所述的多光学腔体的光学微机电结构，其特征在于：所述光学微机电结构还包括在X方向上依次排列且间隔设置的第一衬底块与第二衬底块，所述悬置支撑梁的X方向两端分别与所述第一衬底块及所述第二衬底块连接，所述悬置检测质量块的X方向两端分别通过悬置系绳与所述第一衬底块及所述第二衬底块连接。

8.根据权利要求1所述的多光学腔体的光学微机电结构，其特征在于：所述光学微机电结构包括支撑层及位于所述支撑层上的功能层，所述悬置波导、所述悬置支撑梁、所述光学腔体组及所述悬置检测质量块均基于所述功能层形成。

9.根据权利要求8所述的多光学腔体的光学微机电结构，其特征在于：所述功能层包括氮化硅层。

10.根据权利要求1所述的多光学腔体的光学微机电结构，其特征在于：所述光学腔体包括缺陷区域及镜像区域，所述镜像区域分布于所述缺陷区域的X方向两侧，或者所述镜像区域分布于所述缺陷区域的X方向两侧与Y方向两侧。

11.根据权利要求1所述的多光学腔体的光学微机电结构，其特征在于：所述光学微机电结构应用于陀螺仪或加速度计。