[发明专利]一种半导体清洗设备的故障监测预警方法及系统在审
| 申请号： | 202310335566.9 | 申请日： | 2023-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN116046078A | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 黄敏;刘建明;李胜亭;彭威;匡华军;陈华明;谢卫军;任建辉;谭亿求;刘凡国;焦海涛 | 申请（专利权）人： | 东莞市楷德精密机械有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 深圳市国高专利代理事务所(普通合伙) 44731 | 代理人： | 陈冠豪 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市万江*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种半导体清洗设备的故障监测预警方法及系统，涉及数据分析技术领域，监测获取机械手移动监测数据、化学药液传输数据、清洗腔室的监测数据、水循环流量监测数据，输入特征分析模块确定各部件清洗运行特征，输入运行特征预测模型获得各部件预测结果，若达到预警条件执行预警，解决现了有技术中对于半导体清洗设备的故障监测预警方法分析深度与完备性不足，只针对可监测数据进行故障衡量，导致故障监测结果精准度不足，忽略了潜在性故障因素，影响设备运行准确度的技术问题，通过提取单组件特征与融合特征进行分析预测，提升分析深度与全面性，提高分析结果精准度，针对不同故障分析结果进行针对性预警，保障检修的及时有效性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 清洗 设备 故障 监测 预警 方法 系统 | ||
【主权项】：
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