[发明专利]一种可实现干扰模态隔离的解耦型音叉硅微机械陀螺仪在审
| 申请号： | 202310293995.4 | 申请日： | 2023-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN116753930A | 公开（公告）日： | 2023-09-15 |
| 发明（设计）人： | 车录锋;陈邦亮 | 申请（专利权）人： | 浙江大学;浙江大学绍兴研究院;绍兴市科技创业投资有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5621 | 分类号： | G01C19/5621;G01C19/5628 |
| 代理公司： | 绍兴锋行知识产权代理事务所(普通合伙) 33460 | 代理人： | 徐锋 |
| 地址： | 310000 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提出了一种可实现干扰模态隔离的解耦型的音叉硅微机械陀螺仪，其包括基底、驱动质量块、检测质量块、耦合结构、转动框架、弹簧梁。驱动质量块和检测质量块由弹簧梁支撑悬浮在XY平面内，驱动模态下陀螺左右侧边的驱动质量块带动检测质量块分别沿Y轴方向反相振动；当有Z轴角速度输入时，左右侧边的检测质量块受科氏力作用分别沿X轴方向反相振动；转动框架实现驱动质量块间耦合，使驱动质量块在XY平面内振动，并限制其他方向上的位移；耦合结构可以抑制检测质量块的同相运动。本发明提出的陀螺能够降低工艺误差对陀螺产生的影响，提高陀螺的鲁棒性和热稳定性，抑制机械耦合干扰，增强抗线加速度响应能力，实现陀螺性能和可靠性的提升。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 干扰 隔离 解耦型 音叉 微机 陀螺仪 | ||
【主权项】：
暂无信息
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