[发明专利]一种基于相干可控激光的多表面形貌测试方法在审
| 申请号： | 202310222112.0 | 申请日： | 2023-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN116222426A | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 李俊博;陈佳乐;韩志刚;朱日宏;李方欣;赵鑫洋;芮九多;杨振营 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 朱沉雁 |
| 地址： | 210094 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于相干可控激光的多表面形貌测试方法，使用宽带白噪声源、滤波器、可调射频衰减器、射频放大器、直流驱动电源、偏置器模块和半导体激光器构成相干可控激光光源；针对平行平板类光学元件多表面干涉特性，使用宽带白噪声电流调制半导体激光器获得高旁瓣抑制比的短相干光，避免多表面干涉条纹串扰；使用可调射频衰减器调节白噪声信号强度，实现自长相干到短相干的相干长度可控，逐步缩短干涉条纹存在区间，快速定位干涉测量零光程差位置，完成多表面干涉元件形貌的测量。与现有方法相比，本发明提出的方法在增加了零光程差位置定位速度的同时，提高了多表面形貌测试的测量精度、装置集成度和简易性，更适宜于产业化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 相干 可控 激光 表面 形貌 测试 方法 | ||
【主权项】：
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