[发明专利]一种RGB-IRP膜组及其制备工艺在审

专利信息
申请号: 202310221995.3 申请日: 2023-03-09
公开(公告)号: CN116300308A 公开(公告)日: 2023-06-23
发明(设计)人: 翁钦盛;王刚;叶炜昊 申请(专利权)人: 浙江美迪凯光学半导体有限公司
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00;G02B5/22
代理公司: 杭州华知专利事务所(普通合伙) 33235 代理人: 王莲莲
地址: 314400 浙江省嘉兴*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提供一种RGB‑IRP膜组及其制备工艺,其包括如下可循环环节,依次为涂胶、光刻显影、镀膜和去胶,其中镀膜其为进行R膜、G膜、B膜或IRP膜中的一种或几种镀膜作业,所述涂胶采用的为光刻胶。本发明镀膜的成品透过率相较采用(RGB‑IRP)胶接近翻倍的提升,由于镀膜曲线可以针对不需要的波段进行截止,就无需IRC膜或者IRC滤光片,且斜率较大,可以让带宽变大,有效增加了通光量。
搜索关键词: 一种 rgb irp 及其 制备 工艺
【主权项】:
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